[发明专利]高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法

权利要求书

1.一种射束平行化器，是离子注入装置的射束平行化器，其特征在于，具备：

多个加速或减速透镜部，沿着基准轨道排列，以在所述射束平行化器的出口生成相对于所述基准轨道被平行化的射束；及

真空容器，包围所述多个透镜部，

所述多个透镜部分别构成为，形成由至少2个电极构成的弓形弯曲间隙，并且通过施加于所述弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于所述基准轨道所成的角度，

将所述多个透镜部中的一个透镜部的一个电极和与该透镜部相邻的透镜部的另一个电极构成为同电位，并且

空间部设置于所述多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间，所述空间部朝向与所述基准轨道上的射束平行化平面垂直交叉的方向，包括所述基准轨道在内的内侧区域通过所述空间部与成为所述真空容器与所述多个透镜部之间的外侧区域连通，

所述多个透镜部分别具备1对电极部件，所述1对电极部件分别具备决定所述弓形弯曲间隙的弯曲面，各电极部件在所述弯曲面的相反一侧具备从靠近所述基准轨道的电极中央部向两侧延伸至射束传输空间的外缘的背面，

所述空间部形成于靠近所述相邻的透镜部的所述一个透镜部的电极部件的背面与靠近所述一个透镜部的所述相邻的透镜部的电极部件的背面之间。

2.根据权利要求1所述的射束平行化器，其特征在于，

所述多个透镜部分割为上部结构与下部结构，在所述上部结构与所述下部结构之间形成有包括所述基准轨道在内的内侧区域。

3.根据权利要求2所述的射束平行化器，其特征在于，

所述多个透镜部构成为，能够相对于所述基准轨道调整所述上部结构与所述下部结构的相对位置。

4.根据权利要求1所述的射束平行化器，其特征在于，

所述真空容器在所述基准轨道的一侧与另一侧分别具备容器壁，

所述1对电极部件分别具备一组电极片，所述一组电极片隔着所述基准轨道而分开配置，所述一组电极片的一个被所述基准轨道的一侧的所述容器壁支承，所述一组电极片的另一个被所述基准轨道的另一侧的所述容器壁支承。

5.根据权利要求4所述的射束平行化器，其特征在于，

各电极片形成为弯曲成弓形的棒状体。

6.根据权利要求1、4、5中任一项所述的射束平行化器，其特征在于，

各电极部件的背面沿着所述弯曲面弯曲。

7.根据权利要求1或2所述的射束平行化器，其特征在于，

至少一个透镜部具备盖部，所述盖部在远离所述基准轨道的一侧覆盖所述空间部。

8.根据权利要求7所述的射束平行化器，其特征在于，

所述盖部构成为，允许通过所述空间部的所述内侧区域的真空排气。

9.根据权利要求1或2所述的射束平行化器，其特征在于，

支承所述多个透镜部的至少一部分的基板设置于所述多个透镜部的外侧区域。

10.根据权利要求9所述的射束平行化器，其特征在于，

所述基板构成为，允许通过所述空间部的所述内侧区域的真空排气。

11.根据权利要求9所述的射束平行化器，其特征在于，

至少一个电极部件或电极片经由绝缘体或导电体安装于所述基板。

12.根据权利要求9所述的射束平行化器，其特征在于，

所述基板构成为能够相对于所述真空容器移动，在所述基板与所述真空容器之间设置有引导所述基板的引导部。

13.根据权利要求12所述的射束平行化器，其特征在于，

所述真空容器具备能够开合的壁部，所述引导部构成为，能够通过所述壁部将所述基板抽出至所述真空容器的外部。

14.根据权利要求1或2所述的射束平行化器，其特征在于，

所述射束平行化器还具备供电部，所述供电部构成为向所述多个透镜部供电，

所述供电部具备供电板，所述供电板从所述真空容器的外部被供电，并且配置于所述真空容器与所述多个透镜部之间。