[发明专利]辐射检测装置和辐射检测系统有效
申请号: | 201510068263.0 | 申请日: | 2015-02-10 |
公开(公告)号: | CN104851897B | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
发明(设计)人: | 大藤将人;渡边实;横山启吾;川锅润;藤吉健太郎;和山弘 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辐射 检测 装置 系统 | ||
1.一种包括多个像素的辐射检测装置,其特征在于,该辐射检测装置包括:
转换元件,包含针对各像素分割的第一电极、半导体层和第二电极;
切换元件,与第一电极电连接;以及
第一绝缘层,分离相邻像素的转换元件,
其中,半导体层位于第一电极与第二电极之间,
半导体层的外周位于第一电极的外周和第二电极的外周的外面,
半导体层包括包含与第一电极接触的部分的第一杂质半导体层、包含与第二电极接触的部分的第二杂质半导体层和位于第一杂质半导体层与第二杂质半导体层之间的本征半导体层,并且,
限定从第一杂质半导体层的外周沿着第一杂质半导体层直到第一杂质半导体层的与第一电极接触的部分的长度DL1、从第二杂质半导体层的外周沿着第二杂质半导体层直到第二杂质半导体层的与第二电极接触的部分的长度DU、第一杂质半导体层的薄层电阻R□L1、第二杂质半导体层的薄层电阻R□U、所述多个像素的像素间距P和切换元件的导通电阻Ron,以将接通切换元件之后10μs的残留电荷设定为不高于2%。
2.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,满足:
{DL1/(4×P)}×R□L1<5×Ron,以及
{DU/(4×P)}×R□U<100×Ron。
3.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,从第一电极的外周到半导体层的外周的长度不小于5nm。
4.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,从第一电极的外周到半导体层的外周的长度不小于1μm。
5.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,从第二电极的外周到半导体层的外周的长度不小于5nm。
6.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,从第二电极的外周到半导体层的外周的长度不小于1μm。
7.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,第一杂质半导体层的外周接触第一绝缘层。
8.根据权利要求1所述的辐射检测装置,其中,第一杂质半导体层和第一绝缘层通过本征半导体层相互分离开。
9.根据权利要求8所述的辐射检测装置,其中,令DL3为从第一杂质半导体层的外周到本征半导体层的外周的长度并且R□L3为本征半导体层的薄层电阻,还满足:
{DL1/(4×P)}×R□L1+{DL3/(4×P)}×R□L3<5×Ron。
10.根据权利要求1所述的辐射检测装置,还包括第二绝缘层,所述第二绝缘层使第一电极的外周与第一杂质半导体层相互分离开。
11.根据权利要求1所述的辐射检测装置,还包括闪烁体层,所述闪烁体层被布置在所述多个像素上并且将辐射转换成波长能由转换元件检测的光。
12.一种辐射检测系统,其特征在于,包括:
在权利要求1-11中的任一项中限定的辐射检测装置;和
信号处理装置,用于处理由辐射检测装置获得的信号。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的