[发明专利]一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机有效
| 申请号： | 201510068221.7 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN104674181B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 朱锡芳;徐安成;杨辉;许清泉;陈功 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 高桂珍 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 快速 单面 往复 连续 镀膜 磁控溅射 卷绕 | ||
【说明书】：
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