[发明专利]电子模块的制造有效
| 申请号: | 201510067672.9 | 申请日: | 2015-02-09 |
| 公开(公告)号: | CN104867863B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
| 发明(设计)人: | 米夏埃尔·莱佩纳特;龙尼·维尔纳 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
| 主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;李慧 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电子模块 功率电子模块 半导体芯片 触点接通 引线框架 制造 电接口 应用 | ||
1.一种用于制造电子模块(L)的方法(S1-S8),所述方法包括至少一个半导体芯片(3,4)与至少一个引线框架(1)的触点接通,其中,
所述半导体芯片(3,4)在所述半导体芯片的上侧(7)上并且在所述半导体芯片的下侧(6)上分别具有至少一个电的接口(8,9),并且
至少一个所述引线框架(1)直接触点接通(S5)所述上侧或所述下侧的所述接口(8,9),
所述方法(S1-S8)至少包括下述步骤:
(i)提供(S1)所述引线框架(1);
(ii)将所述引线框架(1)与至少一个半导体芯片(3,4)的所述上侧(7)触点接通(S5);并且
(iii)将至少一个所述半导体芯片(3,4)的所述下侧(6)以及所述引线框架(1)与共同的电路板(11)触点接通(S6),其中所述引线框架(1)借助能导电的间隔件(10)与所述电路板(11)触点接通(S6),所述能导电的间隔件(10)位于所述引线框架(1)和所述电路板(11)之间。
2.根据权利要求1所述的方法(S1-S8),其中,步骤(ii)至少包括下述步骤:
(iia)以相应的增附剂铺盖(S3a)所述引线框架(1)的预设的接触区域;并且
(iib)将至少一个所述半导体芯片(3,4)的至少一个所述接口(8,9)安装在相应的接触区域处。
3.根据权利要求2所述的方法(S1-S8),其中,在步骤(iib)中使用倒装芯片安装技术。
4.根据权利要求1或2所述的方法(S1-S8),其中,步骤(iii)包括通过增附剂的触点接通(S6)。
5.根据权利要求2或3所述的方法(S1-S8),其中,步骤(iii)包括通过增附剂的触点接通(S6),所述增附剂是烧结材料,并且共同的烧结压制过程(S7)的步骤(iv)连接于步骤(iii)。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(S1-S8),其中,在步骤(i)和(ii)之间进行以电绝缘材料在所述接触区域外部铺盖所述引线框架(1)的至少一个部段的步骤(S4)。
7.根据权利要求5所述的方法(S1-S8),其中,在步骤(i)和(ii)之间进行以电绝缘材料在所述接触区域外部铺盖所述引线框架(1)的至少一个部段的步骤(S4)。
8.根据权利要求6所述的方法(S1-S8),其中,以所述电绝缘材料铺盖所述引线框架(1)的至少一个部段,所述至少一个部段能够定位在半导体(3)的上部。
9.根据权利要求7所述的方法(S1-S8),其中,以所述电绝缘材料铺盖所述引线框架(1)的至少一个部段,所述至少一个部段能够定位在半导体(3)的上部。
10.根据权利要求5所述的方法(S1-S8),其中,将所述引线框架分隔开的步骤(v)连接于步骤(iii)或步骤(iv)。
11.根据权利要求9所述的方法(S1-S8),其中,将所述引线框架分隔开的步骤(v)连接于步骤(iii)或步骤(iv)。
12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(S1-S8),其中,至少一个电子部件包括至少一个半导体芯片(3,4)。
13.根据权利要求11所述的方法(S1-S8),其中,至少一个电子部件包括至少一个半导体芯片(3,4)。
14.根据权利要求13所述的方法(S1-S8),其中,至少一个电子部件包括至少一个功率开关。
15.根据权利要求1至3中任一项所述的方法(S1-S8),其中,所述电路板(11)是DCB电路板或IMS电路板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





