[发明专利]一种多孔硅涂料的制备方法

权利要求书

1.一种多孔硅涂料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将硅片生产过程中所产生的废浆料过滤沉淀，酸洗除杂，并且烘干，得到硅微粉，或者直接选取纯度为99.99%，平均粒径为1～6μm的金属硅微粉，进行进一步研磨处理；

（2）将经步骤（1）研磨处理后的硅微粉置于强酸中，进行强酸腐蚀，腐蚀时间为5～60分钟，或以出现土黄色多孔硅泡沫即可，所述强酸由HF、HNO₃和H₂O组成；其中HF:HNO₃:H₂O的摩尔比例范围是20:1:20～1:1:10；

（3）将经步骤（2）处理后的硅微粉进行抽滤，干燥，并且进行荧光检测，即用紫外或可见光光源的激光照射，如果有红黄色荧光产生，则腐蚀效果达到，得到纳米多孔硅粉；否则，继续进行步骤（2）；

（4）将步骤（3）所得纳米多孔硅粉与成膜溶剂混合，按质量配比纳米多孔硅粉:成膜溶剂=1:1～300的比例将各原料混合，或者按照纳米多孔硅粉质量与成膜溶剂的体积比1～10mg/ml的比例进行混合，再对所得混合料进行超声振荡分散，搅拌均匀，得浆料，即为多孔硅涂料。

2.如权利要求1所述的多孔硅涂料的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述硅片生产过程中所产生的废浆料为来自硅片生产工艺中金刚线或多线切割过程中所产生的废浆料，或者是抛光、打磨过程中产生的废浆料。

3.如权利要求1或2所述的多孔硅涂料的制备方法，其特征在于，步骤（4）中，所述成膜溶剂为硅溶胶、玻璃粉溶剂、异丙醇、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种。

4.如权利要求1或2或3所述的多孔硅涂料的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，所述硝酸部分或者全部用硝酸盐替换。

5.如权利要求4所述的多孔硅涂料的制备方法，其特征在于，所述硝酸盐为Fe(NO₃)₃、AgNO₃或NaNO₂。