[发明专利]一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统

权利要求书

1.一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，包括：条形激光束产生元件、条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件、分光镜、光束质量探测元件、系统控制元件；

其中，所述条形激光束产生元件，用于发出条形光束，条形光束依次通过所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件；

所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件，用于对入射条形光束相互垂直的两个方向进行实时整形和低阶像差补偿，将输出光束整形为预定大小，准直的方形激光束；

所述分光镜，用于对整形后的光束进行分束，反射部分作为主激光输出，透射部分作为采样信号激光入射到所述光束质量探测元件；

所述光束质量探测元件，用于对所述透射采样信号激光进行探测，测量透射激光束的光束质量；

所述系统控制元件，用于通过数据采集卡和数据线与所述光束质量探测元件相连接，实时接收测量得到的光束质量数据。

2.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述系统控制元件，还用于利用随机优化算法对光束质量进行计算，得到控制所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件的驱动信号。

3.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件，还用于通过数据线与所述系统控制元件的输出端相连接，接收驱动信号，调节所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件间的相对位置，完成对条形象散光束的实时整形与低阶像差补偿。

4.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件包括：条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件以及象散调整运动元件。

5.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件为透镜，所述条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件用于控制条形象散光束相互垂直方向的个数均不少于三个。

6.如权利要求4或5所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件所使用的材料为入射激光高透过率低吸收率的透明材料，其中，所述条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件的两个光学面均镀有针对入射激光的高透过率膜。

7.如权利要求4所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述象散调整运动元件为多子同轴直线电机或步进电机。

8.如权利要求4-7任一项所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束整形与低阶像差补偿光学元件和所述象散调整运动元件的连接方式为直接光胶或通过镜架连接，连接处选择与镜片热膨胀系数相同的材料。

9.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件中的透镜沿系统光轴方向平移和/或沿系统光轴方向旋转，其中，所述条形象散光束实时整形与低阶像差补偿元件中的透镜沿系统光轴方向平移和/或沿系统光轴方向旋转均为实时自动控制调整方式。

10.如权利要求1所述的一种透镜组条形象散光束实时整形与低阶像差补偿系统，其特征在于，所述光束质量探测元件为远场光斑能量探测仪或Shack-Hartmann波前探测仪或剪切波前干涉仪。