[发明专利]偏振光照射装置

说明书

本发明提供一种偏振器、偏振光照射装置及偏光轴方向调整方法，在偏振器单体或并列配置多个偏振器的偏振光照射装置中，以高精度进行偏振器的偏光轴方向的调整。所述偏振器具备：基板(10)，在表面形成有线栅(G)；及遮光部(11、11A)，形成于基板(10)上且阻挡透射基板(10)的光，光透射的光透射区域(12A)与遮光部(11、11A)的边界线(L)相对于线栅(G)的延伸方向在设定方向上形成为直线状。

技术领域

本发明涉及一种偏振器、使用偏振器的偏振光照射装置、及偏振光照射装置的偏光轴方向调整方法。

背景技术

作为从没有偏振的光获得直线偏振光的偏振器，已知有线栅偏振器。线栅偏振器为在透光性基板上将电导体的直线状细线以微细线宽/微细间隔平行排列形成的。其制造方法，例如已知有通过剥离法形成直线状细线的方法，及利用电子束光刻或X射线光刻对通过剥离法形成直线状细线时的抗蚀剂形成图案的方法(例如，参考专利文献1)。

将通过偏振器的直线偏振光照射到被照射面的偏振光照射装置，例如可用于在基板上形成液晶面板用取向膜的光取向处理。这种偏振光照射装置具备：光照射部，具备棒状灯和反射镜；及偏振器单元，并列配置多个线栅偏振器，并且，沿着设置于工作载物台上的处理对象基板的宽度方向配置排列线栅偏振器的光照射部，且使工作载物台向与处理对象基板的宽度方向正交的方向移动，从而通过直线偏振光对处理对象基板上方进行扫描曝光(参考下述专利文献2)。

专利文献1：日本专利公开平10-153706号公报

专利文献2：日本专利公开2009-265290号公报

在所述偏振光照射装置中，需要使并列配置的多个线栅偏振器的偏光轴方向对准设定方向。因此，以往进行了使各个偏振器的偏光轴方向分别对准基准方向的调整，作为其调整方法，使用偏光轴的方向为已知的测量用偏振器(检偏器)、及接收通过调整对象偏振器且进一步通过测量用偏振器的光的测量用照度传感器，一边对相对于测量用偏振器的调整对象偏振器的方向进行角度调整，一边监测测量用照度传感器的输出，对调整对象偏振器的方向进行调整以使测量用照度传感器的输出为峰值。

根据这种以往的调整方法，在测量用照度传感器的输出的峰值附近，相对于调整对象偏振器的微细角度调整，测量用照度传感器的输出不会产生太大差距。因此，以往的偏光轴方向调整方法中，存在如下问题，即难以进行如要求以0.1deg为单位进行调整的高精度调整。

发明内容

本发明以解决这种问题作为课题的一例。即，本发明的目的为，

在并列配置偏振器单体或多个偏振器的偏振光照射装置中，能够以高精度进行偏振器的偏光轴方向的调整等。

为了达到上述目的，本发明具备说明书中所记载的几个发明中的以下结构。

一种偏振光照射装置，其具备偏振器、或并列配置多个偏振器的偏振器单元，将从光源射出且透射偏振器的光照射到被照射面，其中，该偏振器具备：基板，在表面形成有线栅；及遮光部，形成于所述基板上且阻挡透射所述基板的光，光透射的光透射区域与所述遮光部的边界线相对于所述线栅的延伸方向在设定方向上形成为直线状。

发明效果

具备具有这种特征的本发明的偏振器或并列配置多个偏振器的偏振器单元的偏振光照射装置，通过摄像机图像拍摄光透射的光透射区域与遮光部的边界线，能够使偏振器的偏光轴对准基准方向。由此，能够以高精度调整偏振器的偏光轴方向。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的偏振器的说明图(图1(a)表示整体俯视图，图1(b)表示S部放大图，图1(c)表示T部放大图，图1(d)表示拍摄U部的拍摄画面)。