[发明专利]监测制造机台的方法及其系统有效
| 申请号： | 201510059296.9 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105988434B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姜罡;王伦国 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监测 制造 机台 方法 及其 系统 | ||
【说明书】：
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