[发明专利]有机发光二极管器件及其制作方法和蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光二极管及蒸镀技术领域，具体涉及一种有机发光二极管器件及其制作方法和蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)是通过电流驱动发光材料自主发光的显示器件。OLED器件中常用的发光材料是以染料及颜料为材料的小分子，这些小分子通过真空蒸镀工艺以特定的图案沉积在基板上。

如图1所示，目前主流的OLED器件结构由阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极组成。其中，除阴极和阳极的材料为金属外，其余的材料均为有机小分子。

现有的提高该OLED器件发光效率的方法，多为更换有机层的材料，或增加不同的沉积层。而现有的真空蒸镀工艺中，每一层材料的蒸镀工艺需要在单独的一个腔室内完成。目前一种材料达到稳定的蒸镀速率需要经过约10小时的速率稳定时间，因此，现有改变OLED器件结构而提高发光效率方法，会造成成本上升和蒸镀工艺时间的延长。

发明内容

针对现有技术的缺陷，本发明提供一种有机发光二极管器件，通过设置不同客体掺杂浓度的电子传输层来降低电子传输到发光层需要克服的能垒，从而提高有机发光二极管器件的发光效率。同时提供制作该有机发光二极管器件的方法及蒸镀设备。

第一方面，本发明提供了一种有机发光二极管器件，在所述器件的阴极与发光层之间包括至少两层电子传输层，且从阴极至发光层不同电子传输层的能垒依次增大。

优选地，从阴极至发光层，不同电子传输层的主体材料与客体材料的质量比依次增大。

优选地，所述至少两层电子传输层为三层，靠近阴极的电子传输层的主体材料与客体材料质量比在1:10到0之间，中间的电子传输层的主体材料与客体材料的质量比为1:3到1:1之间，靠近发光层的电子传输层的主体材料与客体材料的质量比为1:1到1:0.5之间。

第二方面，本发明提供了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括蒸镀材料装填腔、蒸镀材料喷嘴及速率控制网板；

所述速率控制网板设置于连通的所述蒸镀材料装填腔与所述蒸镀材料喷嘴之间，用于控制单位时间从蒸镀材料装填腔透过其到达蒸镀材料喷嘴的蒸镀材料的数量而控制蒸镀材料的蒸镀速率，包括相连的至少两种蒸镀速率不同的速率控制子网板；所述速率控制网板可以相对所述蒸镀材料喷嘴移动，以切换与所述蒸镀材料喷嘴对准的速率控制子网板的种类

优选地，所述蒸镀材料喷嘴为多个，不同种的速率控制子网板间隔交替排布，相同种的速率控制子网板之间的控制速率子网板之间的距离等于相邻的蒸镀材料喷嘴之间的距离。

优选地，所述不同种的速率控制子网板的开口密度不同。

优选地，所述不同种的速率控制子网板根据开口密度大小依次间隔排布。

优选地，所述速率控制子网板之间设置有间隔带。

优选地，所述蒸镀设备还包括网板转送控制轮，用于转动来移动所述速率控制网板。

第三方面，本发明提供了一种有机发光二极管器件制作方法，所述器件包括至少两层电子传输层，利用权利要求4-9所述的蒸镀设备蒸镀形成所述器件中的所述至少两层电子传输层，该方法包括：

根据所述器件中需要形成的各电子传输层的主体材料与客体材料的质量比，在蒸镀材料腔中设置主体材料或客体材料作为蒸镀材料， 移动速率控制网板，使对应的速率控制子网板依次对准蒸镀材料喷嘴，蒸镀蒸镀材料以依次形成各电子传输层。

由上述技术方案可知，本发明提供一种有机发光二极管器件通过在阴极和发光层之间增加不同客体掺杂浓度的多个电子传输层，来降低电子传输到发光层需要克服的能垒，从而提高有机发光二极管器件的发光效率。本发明还提供了一种蒸镀设备及使用其制作有机发光二极管器件的方法，在不改变其他蒸镀条件的情况下，仅通过移动速率控制网板就能够实现同一蒸镀腔室内不同蒸镀速率的快速切换，节省时间，提高蒸镀效率，可以方便形成不同客体掺杂浓度的多个电子传输层，同时由于不需要设置多个蒸镀腔室和改变其他工艺条件，所以减少了设备的制造和使用成本，易于操控。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些图获得其他的附图。

图1是现有OLED器件的结构示意图；

图2是本发明第一实施例提供的OLED器件的一般结构示意图；