[发明专利]一种加速度计的Z轴结构及其生产方法

说明书

技术领域

本发明属于微机电(MEMS)领域，更准确地说，涉及一种微机电的加速度计，尤其涉及一种加速度计中的Z轴结构；本发明还涉及到Z轴结构的生产方法。

背景技术

以往的Z轴加速度计都是平板电容式的，质量块的运动模式是类似跷跷板的结构。参考图1，在质量块3下方的衬底1上，会有金属做的两块固定电极2，该固定电极2贴附在衬底1的表面上。质量块3与两块固定电极2分别形成两个电容C1、C2。其中，质量块3通过锚点4支撑在衬底的上方。

这种结构的Z轴结构，其对外界应力、温度变化所引起的形变比较敏感。外界应力和温度变化引起的形变首先作用在衬底1上，进而传到固定电极2上。由于固定电极2是附着在衬底1上面，衬底1的形变直接反映到固定电极2上面。正常情况下，两个固定电极2产生的形变不可能相等，结果就造成在没有加速度计输入的情况下，两个固定电极2对可动质量块3的电容不相等，最终会输出误差信号，反映到芯片上面，这就是Z轴加速度计的零点偏移。而从设计者的角度，希望零点偏移越小越好。但这种结构的加速度计，外界应力和温度变化引起的零点偏移是无法避免的。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种加速度计的Z轴结构的新技术方案。

根据本发明的第一方面，提供了一种加速度计的Z轴结构，包括衬底、固定电极、质量块，在所述衬底的表面上设置有第一锚点，所述固定电极通过其端部连接在第一锚点上，所述固定电极通过第一锚点悬置在衬底上；在所述衬底的表面上还设置有中间锚点，所述质量块通过中间锚点悬置在固定电极的上方。

优选地，所述固定电极与第一锚点一体成型。

优选地，所述第一锚点邻近中间锚点。

优选地，所述固定电极采用单晶硅材料制成。

优选地，所述固定电极的厚度在10μm以上。

优选地，所述固定电极的厚度为20μm-30μm。

优选地，所述固定电极的下表面还设置有加强结构。

本发明还提供了一种Z轴结构的生产方法，包括以下步骤：

a、在固定电极的下表面上刻蚀出两个第一锚点以及位于两个第一锚点之间的第一中间锚点；

b、通过第一锚点、第一中间锚点将固定电极压合在衬底上；

c、在固定电极上表面上除了第一中间锚点的位置进行刻蚀，使得第一中间锚点高于固定电极上表面的其它位置；

d、将固定电极上第一锚点与第一中间锚点之间的位置刻蚀掉，使第一中间锚点和固定电极分开；并将固定电极刻蚀成预定的尺寸；

e、在所述第一中间锚点的上端压合质量块；

f、在所述质量块上刻蚀出位于第一中间锚点上方的第二中间锚点，以及用于连接质量块和第二中间锚点的连接梁。

优选地，在所述步骤b和步骤c之间还包括将固定电极刻蚀成预定厚度的步骤。

优选地，在所述步骤e和步骤f之间还包括将质量块刻蚀成预定厚度的步骤。

本发明的Z轴结构，固定电极通过第一锚点与衬底连接，使得固定电极与衬底之间具有一定的间隙，这就将衬底到固定电极的形变传输通道切断，减小了固定电极与衬底之间的接触面积，可以有效避免由于外界应力和温度变化引起的衬底的形变传到固定电极上，大大降低了Z轴结构的零点漂移。

本发明的发明人发现，在现有技术中，由于外界应力、温度变化所带来的衬底形变会传到固定电极上，从而引起固定电极的形变，使得两个电容的差值不相等。因此，本发明所要实现的技术任务或者所要解决的技术问题是本领域技术人员从未想到的或者没有预期到的，故本发明是一种新的技术方案。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是传统Z轴结构的示意图。

图2是本发明Z轴结构的示意图。

图3至图9是本发明Z轴结构生产方法的流程示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。