[发明专利]一种激光冲击微冲裁装置

权利要求书

1.一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：在下模的上端面依次覆盖金属薄膜、吸收层、约束层和掩膜，所述的掩膜的材质为铜，掩膜正对下模，并通过夹具系统保证相对位置；所述掩膜的外形与下模的外形相似；掩膜的尺寸比下模的尺寸大4-15μm；高能脉冲激光的一部分辐照在掩膜的表面被反射，另一部分透过约束层，形成特定形状的激光光斑辐照在吸收层表面，吸收层吸收激光能量在约束层的约束下产生等离子爆炸，形成冲击波，在该具有特定轮廓冲击波和下模的作用下，金属薄膜被掩膜掩盖的部分保留下来，外围部分被修剪掉，获得一个具有特定形状的平整的微零件。

2.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述的激光束为聚焦后的脉冲激光束，其光源为钕玻璃-YAG激光器，脉宽为10-100ns，脉冲能量为0.1-1J，激光束的直径大于掩膜径向的最大尺寸。

3.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述的掩膜的厚度为0.5mm。

4.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述约束层的材质为透明树脂或者光学玻璃，厚度为0.8～1mm。

5.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述吸收层的材质为铝箔或者黑漆，厚度为50～150μm。

6.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述的金属薄膜的厚度为20μm-100μm。

7.如权利要求1所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述下模的材质为高强高硬钢。

8.如权利要求7所述的一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：所述高强高硬钢为T7，20Cr或40r模具钢。