[发明专利]刀具罩装置

说明书

本发明提供刀具罩装置，其能够防止随着与飞散的边角料等的接触而发生不良状况。刀具罩装置(38)配设于主轴壳体(36)，并覆盖装配于主轴的切削刀具(34)，刀具罩装置(38)具备喷嘴模块(56)，喷嘴模块(56)配设于切削液的飞散方向的相反侧，向切削刀具的外周端面喷出切削液，喷嘴模块构成为具备：切削液喷出口(56b)，其向切削刀具的外周端面供给切削液；以及一对辅助切削液喷出口(56d)，它们以夹着切削液喷出口的方式配设，向切削刀具的两侧面喷射切削液。

技术领域

本发明涉及刀具罩装置，其覆盖装配于切削装置的圆环状切削刀具。

背景技术

对于在表面形成有IC等器件的半导体晶片、以及对多个器件芯片进行树脂密封而成的封装基板等被加工物，例如利用具备旋转的圆环状切削刀具的切削装置(切割装置)进行切削，从而分割成多个芯片。在覆盖该切削装置的切削刀具的刀具罩装置上通常设置有喷嘴，该喷嘴供给用于对被加工物和切削刀具进行冷却和清洗的切削液。

另外，在分割上述的封装基板时，例如，高效的做法是：利用卡盘工作台仅吸引保持与分割后的芯片对应的区域，在切削的同时除去多余的边角料等。

因此，提出有这样的刀具罩装置：为了促进由切削产生的边角料的飞散并且防止飞散的边角料与切削刀具的接触，具备从切削刀具的前方(或后方)供给切削液的管状的喷嘴(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2009－285769号公报

然而，若飞散的边角料等与上述的刀具罩装置的喷嘴接触，则会由于接触的冲击而产生喷嘴的脱落、变形、错位等不良状况。本发明正是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供一种能够防止随着与飞散的边角料等的接触而产生不良状况的刀具罩装置。

发明内容

根据本发明，提供一种刀具罩装置，其配设于将主轴支承成自如旋转的主轴壳体的末端，并覆盖装配于该主轴的切削刀具，所述刀具罩装置的特征在于，其具备喷嘴模块，该喷嘴模块配设于向该切削刀具供给的切削液由于该切削刀具的旋转而飞散的一侧的相反侧，与该切削刀具的外周端面对置并喷出切削液，该喷嘴模块具备：切削液喷出口，其向该切削刀具的外周端面供给该切削液；以及一对辅助切削液喷出口，它们以夹着该切削液喷出口的方式配设，向该切削刀具的两侧面喷射该切削液。

并且，在本发明中，优选的是，所述刀具罩装置还具备固定于所述主轴壳体的末端的基部，所述喷嘴模块以能够移动的方式安装于该基部，所述刀具罩装置配设有位置调整构件，该位置调整构件容许该喷嘴模块相对于该基部沿铅直方向移动。

并且，在本发明中，优选的是，所述位置调整构件具有：贯通孔，其沿铅直方向贯通所述基部；调整螺钉，其插入于该贯通孔，该调整螺钉的头部与贯通孔的上端卡合，该调整螺钉的下端与所述喷嘴模块的螺纹孔旋合；以及旋转限制部，其限制该喷嘴模块以该调整螺钉为旋转轴相对于该基部旋转，通过使该调整螺钉转动，该喷嘴模块相对于该基部在铅直方向上移动。

发明效果

本发明的刀具罩装置具备一体地形成有切削液喷出口和辅助切削液喷出口的喷嘴模块，其中，切削液喷出口向切削刀具的外周端面供给切削液，辅助切削液喷出口向切削刀具的两侧面喷射切削液，因此，不会像与罩部件分体地设置管状的喷嘴的情况那样，由于与飞散的边角料等的接触而发生喷嘴的脱落、变形、错位等不良状况。这样，根据本发明，可提供能够防止随着与飞散的边角料等的接触而发生不良状况的刀具罩装置。

附图说明

图1是示意性示出具备本实施方式的刀具罩装置的切削装置的结构例的立体图。

图2是示意性示出刀具罩装置的周边构造的立体图。

图3中，(A)是示意性示出刀具罩装置的第2基部和喷嘴模块的构造的侧视图，(B)是示意性示出第2基部和喷嘴模块的构造的后视图。