[发明专利]芯片生产线的废水处理方法在审
| 申请号： | 201510037278.0 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104609668A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 韦相亮;马崇维;赵其 | 申请（专利权）人： | 先达恩那社水处理工程（天津）有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/14 | 分类号： | C02F9/14 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 300020 天津市和平区大沽北*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 生产线 废水处理 方法 | ||
1.一种芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
接收来自于芯片生产线的废水，所述废水中包含纳米级悬浮颗粒物；
在废水中加入悬浮物污泥物质，以吸附废水中的纳米级颗粒物，形成微米级以上的悬浮颗粒物；
对所述废水进行膜生物反应器处理，以去除废水中的悬浮颗粒物。
2.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述悬浮物污泥物质的浓度为500-1200PPM。
3.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之后进一步包括：
检测所述悬浮物污泥物质的浓度；
若所述悬浮物污泥物质的浓度超过预设浓度，对所述悬浮物污泥物质进行排放。
4.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述膜生物反应器包括中空纤维膜。
5.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述废水中加入悬浮物污泥物质的步骤之前进一步包括：
在废水中加入PH值调节物质，以使得所述废水的PH值呈弱酸性、中性或弱碱性；
对废水进行过滤，以滤除废水中的颗粒物体。
6.根据权利要求5所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述废水的PH值的范围为6.5-8.5。
7.根据权利要求5所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述对废水进行过滤采用过滤器，其中所述过滤器的目数为60-100目。
8.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述对所述废水进行膜生物反应器处理的步骤之后进一步包括：
在通过膜生物反应器处理后的净水中加入细菌抑制剂，以抑制净水中的细菌滋生。
9.根据权利要求8所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述细菌抑制剂包括次氯酸钠。
10.根据权利要求9所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述次氯酸钠的余氯浓度为0.5-0.8PPM。
11.根据权利要求1所述的芯片生产线的废水处理方法，其特征在于，所述废水处理方法进一步包括：
对所述膜生物反应器表面进行空气冲刷。
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