[发明专利]薄膜压电元件、薄膜压电致动器、和薄膜压电传感器以及硬盘驱动器、和喷墨打印机装置

权利要求书

1.一种薄膜压电元件，其特征在于，

包括：

一对电极层；和

由所述一对电极层夹着的压电薄膜，

所述压电薄膜和所述一对电极层的至少一者的界面的表面粗糙度P-V为220nm以上且500nm以下，

所述界面的表面粗糙度Ra为90nm以上且220nm以下，该表面粗糙度Ra比构成所述压电薄膜的结晶颗粒的平均结晶粒径大。

2.如权利要求1所述的薄膜压电元件，其特征在于：

所述压电薄膜的膜厚为220nm以上且3000nm以下。

3.如权利要求1所述的薄膜压电元件，其特征在于：

所述压电薄膜为铌酸钾钠类。

4.一种薄膜压电致动器，其特征在于：

使用权利要求1所述的薄膜压电元件。

5.一种薄膜压电传感器，其特征在于：

使用权利要求1所述的薄膜压电元件。

6.一种硬盘驱动器，其特征在于：

使用权利要求4所述的薄膜压电致动器。

7.一种喷墨打印机装置，其特征在于：

使用权利要求4所述的薄膜压电致动器。