[发明专利]无翘曲Ⅲ族氮化物复合衬底的制备方法和衬底放置装置有效
| 申请号： | 201510023297.8 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN105845798B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴洁君;程玉田;于彤军;韩彤;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学;北京燕园中镓半导体工程研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/30 | 分类号： | H01L33/30;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无翘曲 氮化物 复合 衬底 制备 方法 放置 装置 | ||
【说明书】：
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