[发明专利]一种加载玻璃的非对称的SiO2‑金膜‑SiO2波导结构的表面等离子体激元传播装置

权利要求书

1.一种加载玻璃的非对称的SiO₂-金膜-SiO₂波导结构的表面等离子体激元传播装置，其特征是，包括顺序叠接的顶层SiO₂层、金膜层、L形玻璃层、底层SiO₂层，其中玻璃层L形长边的外端面与金膜层叠接，L形长边的内端面与底层SiO₂层叠接，所述的L形玻璃层为高透射率 BK7 玻璃。

2.根据权利要求1所述的加载玻璃的非对称的SiO₂-金膜-SiO₂波导结构的表面等离子体激元传播装置，其特征是，所述的金膜层刻蚀有光栅结构。

3.根据权利要求2所述的加载玻璃的非对称的SiO₂-金膜-SiO₂波导结构的表面等离子体激元传播装置，其特征是，顶层SiO₂层、金膜层的长、宽均为1500nm、1000nm，L形玻璃层与底层SiO₂层叠接后的长、宽为1500nm、1000nm；顶层SiO₂层和底层SiO₂层的厚度分别为300nm和100nm，为不同厚度的非对称介质，金膜层厚度为150nm、L形玻璃层厚度为150nm；金膜层光栅周期为30nm。