[发明专利]一种差分电容式一维位置矢量传感器有效
申请号: | 201510019220.3 | 申请日: | 2015-01-14 |
公开(公告)号: | CN104654993B | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 张钟华;白洋;鲁云峰;韩冰;李正坤;贺青 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01B7/00 | 分类号: | G01B7/00 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人: | 赵晓艾,章彦奇 |
地址: | 100029 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种差 电容 式一维 位置 矢量 传感器 | ||
1.一种差分电容式一维位置矢量传感器,包括第一高压极板、第二高压极板、指零极板以及屏蔽窗口,第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间形成差分电容,其特征在于:第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间设有屏蔽窗口;所述屏蔽窗口在中央设有开口;屏蔽窗口可相对于差分电容运动;第一高压极板、第二高压极板与指零极板平行,屏蔽窗口与第一高压极板、第二高压极板以及指零极板平行。
2.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:第一高压极板、第二高压极板与指零极板的相对位置固定。
3.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:第一高压极板、第二高压极板与指零极板周围设置有接地的屏蔽层。
4.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:所述屏蔽窗口为金属片,且接地。
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