[发明专利]一种差分电容式一维位置矢量传感器有效

专利信息
申请号: 201510019220.3 申请日: 2015-01-14
公开(公告)号: CN104654993B 公开(公告)日: 2017-08-11
发明(设计)人: 张钟华;白洋;鲁云峰;韩冰;李正坤;贺青 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01B7/00 分类号: G01B7/00
代理公司: 北京冠和权律师事务所11399 代理人: 赵晓艾,章彦奇
地址: 100029 北京市朝*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 种差 电容 式一维 位置 矢量 传感器
【权利要求书】:

1.一种差分电容式一维位置矢量传感器,包括第一高压极板、第二高压极板、指零极板以及屏蔽窗口,第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间形成差分电容,其特征在于:第一高压极板、第二高压极板与指零极板之间设有屏蔽窗口;所述屏蔽窗口在中央设有开口;屏蔽窗口可相对于差分电容运动;第一高压极板、第二高压极板与指零极板平行,屏蔽窗口与第一高压极板、第二高压极板以及指零极板平行。

2.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:第一高压极板、第二高压极板与指零极板的相对位置固定。

3.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:第一高压极板、第二高压极板与指零极板周围设置有接地的屏蔽层。

4.根据权利要求1所述的差分电容式一维位置矢量传感器,其特征是:所述屏蔽窗口为金属片,且接地。

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