[发明专利]一种光学元件亚表面缺陷检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种光学元件亚表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)光纤耦合器对输入的宽带光源进行分路；

2)一路低相干光输入参考臂，被零光程参考面反射，形成参考光；

3)另一路低相干光输入样品臂，进行光程延时处理，通过光纤探头阵列形成具有不同光程延时量的空间多点并行照明，照射在样品的被检测区域上，并接收该区域反射和后向散射的信号光，所述光程延时处理为：改变光纤耦合器样品臂输出端与各光纤探头间的自由空间距离，实现各光纤探头接收的检测信息相对零光程参考面具有不同的光程延时量；

4)所述信号光和参考光经光纤耦合进行相干迭加并形成光谱信息；

5)通过样品或光纤探头阵列的移动获取被检测区域的二维或三维光谱信息；

6)根据二维或三维光谱信息重构被检测区域的高分辨图像，显示缺陷的形状和分布。

2.根据权利要求1所述的光学元件亚表面缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤3)中，空间多点并行照明为横向尺寸处于衍射极限以下而轴向长度在200微米的照明光场。

3.一种光学元件亚表面缺陷检测系统，包括宽带光源、光纤耦合器、参考臂、样品臂和探测臂，所述光纤耦合器分别连接宽带光源、参考臂、样品臂和探测臂，其特征在于，所述样品臂包括相连接的光程延时单元和光纤探头阵列，所述光纤探头阵列由多个光纤探头组成，所述光程延时单元包括依次设置的主透镜、分束器、反射镜和从透镜，所述分束器设有n-1个，所述反射镜设有1个，所述从透镜设有n个，n为光纤探头的个数。

4.根据权利要求3所述的光学元件亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述光纤探头由单模光纤和微米介质小球组成，所述微米介质小球胶合在经端面处理过的单模光纤凹面上。

5.根据权利要求3或4所述的光学元件亚表面缺陷检测系统，其特征在于，所述多个光纤探头的长度相同。

6.根据权利要求3所述的光学元件亚表面缺陷检测系统，其特征在于，还包括用于固定光纤探头阵列或样品的可移动的扫描装置。