[发明专利]一种高效率的集成电感结构在审
| 申请号： | 201510012905.5 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN104538383A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 伍荣翔 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/01 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 集成 电感 结构 | ||
1.一种高效率的集成电感结构，包括第一衬底(11)、第二衬底(12)，嵌入所述第一衬底(11)中的第一金属线条层(21)，嵌入所述第二衬底(12)中的第二金属线条层(22)，所述第一金属线条层(21)和第二金属线条层(22)通过金属导体层(4)相向、错位连接形成螺线管形状，所述第一金属线条层(21)通过金属通孔(23)与第一衬底(11)的另一表面电学连接。
2.根据权利要求1所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第一金属线条层(21)与第二金属线条层(22)之间还有磁芯(5)，所述磁芯(5)设置于第一金属线条层表面或设置于第二金属线条层表面。
3.根据权利要求1所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第一金属线条层(21)和金属通孔(23)与第一衬底(11)之间设置第一绝缘层(31)。
4.根据权利要求1所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第二金属线条层(22)与第二衬底(12)之间设置第二绝缘层(32)。
5.根据权利要求1所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第一金属线条层(21)表面和面向第二金属线条层(22)的第一衬底表面设置第三绝缘层(33)，所述第二金属线条层(22)表面和面向第一金属线条层(21)的第二衬底表面设置第四绝缘层(34)。
6.根据权利要求5所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第三绝缘层(33)和第四绝缘层(34)之间还有磁芯(5)，所述磁芯设置于第三绝缘层表面或者设置于第四绝缘层表面。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述第一金属线条层(21)和第二金属线条层(22)的厚度为20～200μm。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的高效率的集成电感结构，其特征在于，所述磁芯(5)为闭合的环或有开口的环。
9.一种耦合电感，包含n个权利要求1至6中任一项所述的高效率的集成电感结构，其中，磁芯形成1个或两个以上的环，n≥2。
10.一种变压器，包含n个权利要求1至6中任一项所述的高效率的集成电感结构，其中，磁芯形成1个或两个以上的环，n≥2。
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