[发明专利]一种热处理设备的炉门控制机构

说明书

技术领域

本发明属于半导体卧式热处理设备技术领域，涉及一种半导体热处理设备的炉门控制机构，更具体的，涉及一种可实现热处理设备的炉门升降和旋转运动的控制机构。

背景技术

半导体卧式热处理设备可包括例如卧式氧化炉、扩散炉、卧式退火炉等。在半导体卧式热处理设备开始进行工艺之前，也就是将石英舟和硅片送入加热腔室之前，需要打开炉门；在工艺结束之后，也就是将石英舟和硅片移出加热腔室之后，需要封闭炉门，以起到隔离热量等作用。由于硅片加工的半导体卧式热处理设备需要较好的密封，尤其表现在炉门在半导体卧式热处理设备中起到隔离热量的作用。

然而，现在使用的半导体卧式热处理设备的炉门大都是与承载石英舟的推拉杆为一体结构，即用于承载硅片的推拉杆的末端设有炉门，其中推拉杆与炉门固定连接。在工艺过程中，将石英舟与硅片送入加热腔室，炉门与半导体卧式热处理设备密封，而在不进行工艺过程时，石英舟与硅片被移除加热腔室，炉门只得敞开。如此，在炉门敞开的状态下，导致热处理设备大量散热，不仅浪费了能源，也增加了再加工时热处理设备加热的时间，降低了工作效率。

综上所述，现有的半导体卧式热处理设备中的炉门机构存在密封性能差、使用不够灵活、成本较高、效率低下的缺陷，因此，业界亟需提供一种密封性能良好、操作灵活的的炉门控制机构以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在上述缺陷，提供了一种热处理设备的炉门控制机构,不仅密封性能良好，同时可灵活控制炉门的运动，从而提高半导体卧式热处理设备的工艺效率。

为解决上述问题，本发明提供一种热处理设备的炉门控制机构，还包括动力驱动装置、传动装置以及控制单元；

所述动力驱动装置包括平移气缸以及旋转气缸；所述平移气缸用于驱动所述传动装置做升降运动，所述旋转气缸用于驱动所述传动装置做旋转运动；

所述传动装置包括相互配合的花键轴套以及花键轴承，所述花键轴套内壁设有内花键，所述花键轴承外表面设有与内花键相适应的花键段，所述花键轴承的外侧端依次固定连接一支板以及用于固定连接所述炉门的连接部；

所述控制单元可分别控制所述平移气缸或旋转气缸的开启和关闭；

其中，所述平移气缸与所述花键轴承的内侧端连接并驱动其在所述花键轴承的轴向方向上做往复运动，以带动所述炉门做升降运动，所述旋转气缸通过驱动杆与所述花键轴套连接，并驱动所述花键轴套在其径向方向做旋转运动，以带动所述炉门旋转。

优选的，所述炉门的外侧端设有金属卡套，所述金属卡套与所述连接部之间设有用于减小缓冲的压紧弹簧。

优选的，所述炉门与所述热处理设备之间设有密封装置，所述密封装置包括O型密封圈以及密封圈压片；所述密封圈压片与所述热处理设备接触，所述O型密封圈与所述炉门接触。

优选的，所述炉门控制机构还包括限位机构，所述限位机构用于限制所述炉门的升降和旋转的位置。

优选的，所述限位机构包括限位块，所述限位块上设有调节螺钉，所述限位块安装在所述炉门下降时对应的位置上和旋转时对应的位置上。

优选的，所述升降气缸和所述旋转气缸上均连接有调速阀或/和调压阀。

优选的，所述炉门为石英炉门，所述石英炉门的中间设有用于填充保温棉的夹层。

优选的，所述炉门控制机构还包括：与所述动力驱动装置底部连接有用于将所述动力驱动装置固接到外部设备上的固定安装底座。

优选的，所述固定安装底座上还设有用于散热的散热风扇。

优选的，所述花键轴套通过轴套支座固定于所述固定安装底座上。

从上述技术方案可以看出，本发明通过设置动力驱动装置以及传动装置，利用花键轴套以及花键轴承之间的传动作用，实现带动炉门旋转与升降的功能。本发明提供的炉门控制机构，可灵活控制炉门的动作，操作方便，密封性能好，避免了热处理设备大量散热以及热辐射的问题，节约了成本，进而提高了半导体卧式热处理设备的工艺效率和机构的可靠性。

附图说明

结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：

图1是本发明实施例一种热处理设备的炉门控制机构的结构示意图。

[图中附图标记]：