[发明专利]一种高通量电阻率测试装置

权利要求书

1.一种高通量电阻率测试装置，其特征在于，所述装置包括：

基座，固定设置有若干探针，且每个所述探针均具有用于接触测试样品的尖端和相对于该尖端的连接端；

多通道开关，每个所述探针均通过其连接端与所述多通道开关的输入端电连接，且该多通道开关的输出端分别与电流源和电压表连接，以对所述测试样品的电阻率进行量测。

2.如权利要求1所述装置，其特征在于，每个所述探针均贯穿固定设置于所述基座，且所述若干探针的尖端均凸起于该基座的同一表面，以使得每个所述探针的尖端均能与同一所述测试样品的不同区域接触和/或分别与不同测试样品接触。

3.如权利要求2所述装置，其特征在于，当所述若干探针的尖端分别与不同测试样品接触时，对任一所述测试样品进行电阻率量测操作过程中，所述多通道开关将与其他测试样品接触的探针的电路断开。

4.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述多通道开关为手动式机械开关的组合器件或电子电路控制的多路开关器件。

5.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述装置还包括一开关控制模块；

所述开关控制模块与所述多通道开关电连接，以自动控制所述多通道开关中每个通道的开启或闭合。

6.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述多通道开关的输入端上设置有若干探针接入端口，所述多通道开关的输出端上设置有第一连接端口和第二连接端口；

每个所述探针均通过其连接端分别与一所述探针接入端口连接，所述电压表通过所述第一连接端口与所述多通道开关电连接，所述电流源通过所述第二连接端口与所述多通道开关电连接。

7.如权利要求6所述装置，其特征在于，所述探针接入端口的数量大于所述探针的数量。

8.如权利要求1所述装置，其特征在于，所述电流源和电压表为分立的电流源和电压表器件或者为集成数字源表器件。