[发明专利]一种基于石墨烯的加速度传感器有效
| 申请号： | 201510001977.X | 申请日： | 2015-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN104502631B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 王振中 | 申请（专利权）人： | 厦门烯成石墨烯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361015 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 加速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器包括表面绝缘的衬底，所述衬底的四周分别设有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜两端分别设有一个金属导电电极，所述加速度传感器还包括一个封装腔，所述封装腔与衬底对应形成一个密闭的腔体，所述腔体内填充有气体，所述气体为具有吸电子效应的气体或者具有共轭给电子效应的气体。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述衬底为表面有绝缘氧化硅层的硅单晶衬底。
3.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述石墨烯薄膜为单层，厚度为0.335nm。
4.根据权利要求3所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述石墨烯薄膜为CVD生长的石墨烯薄膜。
5.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述金属导电电极的材料为Au、Cu、Ag、Al、Mo、Ti和Ni中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述具有吸电子效应的气体为NO和NO2中的至少一种；所述具有共轭给电子效应的气体为CO和NH3中的至少一种。
7.根据权利要求6所述的一种基于石墨烯的加速度传感器，其特征在于：所述气体CO、NO、NO2或NH3的浓度为100～1000ppm。
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