[其他]用于在基板上沉积材料的沉积装置

说明书

技术领域

本公开的实施例涉及一种用于在基板上沉积材料的沉积装置。本公开的实施例特别涉及一种用于在基板上沉积层堆叠的溅射装置。

背景技术

触控面板(诸如触控屏幕面板)为电子可视化显示器的一种特殊类别，其能够检测并定位显示区域内的触碰。触控面板包括多个层堆叠或透明体以形成功能性屏幕 (类似触控屏幕面板)。然而，触控面板通常会有较劣等的日光可读性、有色的外观(反射)和相对于下方显示器所产生的图片的颜色改变、以及来自功能性屏幕的结构核心层(例如，图案化透明导电氧化物(TCO)的或多或少的可视图案。

在触控面板的制造中使用不同的层堆叠概念。这些不同的层堆叠概念包括例如具有抗反射涂层的层堆叠，接着是金属层堆叠(诸如黑色金属层堆叠(例如，用于黑色金属架桥或黑色金属网(mesh)))。层堆叠概念也包括例如具有透明绝缘层和图案化 TCO层(例如，图案化铟锡氧化物(ITO)层)的层堆叠，致使用户看不见图案化 TCO层(“看不见的TCO”或(“看不见的(i-)ITO”)。

触控面板的制造商具有广泛、多样化和符合市场需求的系列产品，以迅速地适应步调快速的科技演进。一种制造装置对于不同产品(诸如以上示例性的不同层堆叠) 的简单且快速的适应是一方面。举例来说，在触控面板制造中，从具有看不见的TCO 的层堆叠至金属层堆叠(诸如黑色金属层堆叠)的快速工具转换是有益的。然而，许多工艺步骤，例如于直列式生产工具中，在相邻的工艺单元之间有占据空间的气体分离单元，且通常分离的沉积装置用于生产例如具有看不见的TCO的层堆叠和诸如黑色金属层堆叠的金属层堆叠。

如上所述，需要克服至少一些问题的一种用以在基板上沉积材料的沉积装置。

发明内容

鉴于上述，提出一种用于在基板上沉积材料的沉积装置。根据权利要求书、说明书和所附附图，本公开的进一步的方面、益处和特点是显而易见的。

根据本公开的一方面，提供一种用于在基板上沉积材料的沉积装置。沉积装置包括第一处理腔室和第二处理腔室；位于第一处理腔室内的至少一个第一沉积源和位于第二处理腔室内的至少一个第二沉积源；和至少一个第一遮蔽设备。此至少一个第一遮蔽设备配置为至少在第一位置和第二位置之间为可移动的，其中此至少一个第一遮蔽设备配置为当此至少一个第一遮蔽设备在第一位置时遮蔽至少一个第一沉积源，且其中至少一个第一遮蔽设备配置为在第一处理腔室和第二处理腔室之间为可移动的。

根据本公开的另一方面，提供一种用于在基板上沉积材料的沉积装置。沉积装置包括：第一处理腔室和第二处理腔室；在第一处理腔室内的至少一个第一沉积源和在第二处理腔室内的至少一个第二沉积源；以及至少一个第一遮蔽设备。此至少一个第一遮蔽设备配置为至少在第一位置和第二位置之间为可移动的，其中此至少一个第一遮蔽设备配置为当此至少一个第一遮蔽设备在第一位置时遮蔽至少一个第一沉积源。沉积装置还包括至少一个第二遮蔽设备，此至少一个第二遮蔽设备配置为至少在第三位置和第四位置之间为可移动的，其中此至少一个第二遮蔽设备配置为当此至少一个第二遮蔽设备在第三位置时遮蔽至少一个第二沉积源。

根据本公开的又另一方面，提出一种用于在基板上沉积第一层堆叠和第二层堆叠中的一个的沉积装置，其中第二层堆叠不同于第一层堆叠。沉积装置包括第一处理腔室和第二处理腔室；在第一处理腔室内的至少一个第一沉积源和在第二处理腔室内的至少一个第二沉积源；在第一处理腔室中的至少一个第一遮蔽设备，其中至少一个第一遮蔽设备配置为至少在第一位置和第二位置之间为可移动的，其中此至少一个第一遮蔽设备配置为当此至少一个第一遮蔽设备在第一位置时遮蔽至少一个第一沉积源；以及在第二处理腔室中的至少一个第二遮蔽设备，其中至少一个第二遮蔽设备配置为至少在第三位置和第四位置之间为可移动的，其中，至少一个第二遮蔽设备配置为当此至少一个第二遮蔽设备在第三位置时遮蔽至少一个第二沉积源。此至少一个第一遮蔽设备配置为第一气体分离遮蔽件，和/或此至少一个第二遮蔽设备配置为第二气体分离遮蔽件。

附图说明

因此，为了详细理解本公开的上述特征的方式，可参照实施例得出以上简要概括的本公开的更具体的描述。所附附图关于本公开的实施例并且说明如下：

图1显示用于在基板上沉积材料的沉积装置的示意图；

图2显示用于在基板上沉积材料的另一沉积装置的示意图；

图3A和3B显示根据本文所述实施例的用以在基板上沉积材料的沉积装置的示意图；