[发明专利]电扫描器及激光加工装置

权利要求书

1.一种电扫描器，其特征在于，具有：

旋转体，其具有旋转轴；

反射镜，其与所述旋转轴的前侧的一端连结，使射入的光偏转；

框架壳体，其具有内部空间，该内部空间以所述旋转轴成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体；

前侧轴承，其配置于所述内部空间的前侧的端部，是将所述旋转轴可旋转地进行支撑的轴承；以及

振动吸收部件，其是由防振合金形成的筒状的部件，在与所述前侧轴承的外周侧面之间具有间隙的状态下，以内筒面位于所述前侧轴承的外周侧的方式而设置于所述框架壳体，对伴随所述旋转体的旋转而发生的所述前侧轴承的振动进行吸收。

2.根据权利要求1所述的电扫描器，其特征在于，

在所述振动吸收部件形成有与所述旋转体的所述旋转轴正交的通孔，

在所述通孔配置有与所述前侧轴承的外周面抵接的柱塞。

3.一种电扫描器，其特征在于，具有：

旋转体，其具有旋转轴；

反射镜，其与所述旋转轴的前侧的一端连结，使射入的光偏转；

连结部件，其由防振合金形成，将所述反射镜和所述旋转轴连结；

框架壳体，其具有内部空间，该内部空间以所述旋转轴成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体；以及

前侧轴承，其设置于所述内部空间的前侧的端部，是将所述旋转轴可旋转地进行支撑的轴承，

所述连结部件对由所述前侧轴承的振动引起的、以所述反射镜和所述旋转轴的结合部为节点的所述反射镜的振动进行抑制。

4.根据权利要求3所述的电扫描器，其特征在于，

在所述框架壳体形成有与所述旋转轴正交的通孔，

在所述通孔配置有与所述前侧轴承的外周面抵接的柱塞。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电扫描器，其特征在于，

所述防振合金为Mn-Cu-Ni-Fe合金。

6.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光光源；以及

电扫描器，其使来自所述激光光源的激光在加工对象物上进行扫描，

所述电扫描器具有：

旋转体，其具有旋转轴；

反射镜，其与所述旋转轴的前侧的一端连结，使射入的光偏转；

框架壳体，其具有内部空间，该内部空间以所述旋转轴成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体；

前侧轴承，其配置于所述内部空间的前侧的端部，是将所述旋转轴可旋转地进行支撑的轴承；以及

振动吸收部件，其是由防振合金形成的筒状的部件，在与所述前侧轴承的外周侧面之间具有间隙的状态下，以内筒面位于所述前侧轴承的外周侧的方式而设置于所述框架壳体，对伴随所述旋转体的旋转而发生的所述前侧轴承的振动进行吸收。

7.一种激光加工装置，其特征在于，具有：

激光光源；以及

电扫描器，其使来自所述激光光源的激光在加工对象物上进行扫描，

所述电扫描器具有：

旋转体，其具有旋转轴；

反射镜，其与所述旋转轴的前侧的一端连结，使射入的光偏转；

连结部件，其由防振合金形成，将所述反射镜和所述旋转轴连结；

框架壳体，其具有内部空间，该内部空间以所述旋转轴成为旋转的中心轴的方式，可旋转地收容该旋转体；以及

前侧轴承，其设置于所述内部空间的前侧的端部，是将所述旋转轴可旋转地进行支撑的轴承，

所述连结部件对由所述前侧轴承的振动引起的、以所述反射镜和所述旋转轴的结合部为节点的所述反射镜的振动进行抑制。