[发明专利]电子束交错的束孔阵列有效
| 申请号： | 201480078802.2 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106415775B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | Y·A·波罗多维斯基;D·W·纳尔逊;M·C·菲利普斯 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 交错 阵列 | ||
【说明书】：
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