[发明专利]用于旋转涂布中的缺陷控制的盖板有效
| 申请号： | 201480077666.5 | 申请日： | 2014-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106132564B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 德里克·W·巴塞特;华莱士·P·普林茨;乔舒亚·S·霍格;一野克宪;寺下裕一;吉原孝介 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05D3/12 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘炜;杨颖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 中的 缺陷 控制 盖板 | ||
【说明书】：
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