[发明专利]沉积装置有效
| 申请号： | 201480075404.5 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN106029941B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 厚见正浩 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/32;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
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