[发明专利]带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

带电粒子光学镜筒，其内部被真空排气；

样本台，其将样本载置在非真空空间中；

检测器，其检测通过向上述样本照射从上述带电粒子光学镜筒出射的一次带电粒子束而得到的二次带电粒子；以及

数据处理部，其从上述检测器的信号中除去由于上述一次带电粒子束直到到达上述样本为止被散射而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响，

上述数据处理部使用上述一次带电粒子束中到达上述样本之前没有被散射的无散射带电粒子束的斑点形状和上述一次带电粒子束中到达上述样本之前被散射了的散射带电粒子束的斑点形状，生成到达上述样本时的上述一次带电粒子束的斑点形状的模型，并使用该模型求出对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述无散射带电粒子束的斑点形状的宽度d1是1nm以上、100nm以下，

上述散射带电粒子束的斑点形状的宽度d2是10nm以上、10000nm以下，

上述d1和上述d2之间的关系满足d2/d1≥10。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

该带电粒子束装置具备：能够维持与上述带电粒子光学镜筒的内部连通并维持为真空状态的空间与配置上述样本的非真空空间的差压，并且使上述一次带电粒子束通过的隔膜，

上述数据处理部从上述检测器的信号中除去由于上述一次带电粒子束通过上述隔膜时被散射而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述数据处理部与上述隔膜的材料种类、密度以及厚度对应地求出对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。

5.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述数据处理部从上述检测器的信号中除去上述一次带电粒子束因存在于上述非真空空间中的气体被散射而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述数据处理部与上述气体的种类、上述一次带电粒子束在上述非真空空间中通过的距离以及上述气体的压力对应地，求出对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。

7.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述带电粒子光学镜筒的长度h1和上述非真空空间中上述一次带电粒子束通过的距离h2之比h1/h2≥1000，h2为1mm以下。

8.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

该带电粒子束装置具备：

显示器，其显示用户能够指定根据来自上述检测器的信号形成的一幅图像中设为图像复原的处理对象的区域的操作画面。

9.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

该带电粒子束装置具备：

显示器，其显示用户能够指定根据来自上述检测器的信号形成的一幅图像中使用第一参数组进行图像复原的处理的第一区域、和使用与上述第一参数组不同的第二参数进行图像复原的处理的第二区域的操作画面。

10.一种样本图像取得方法，其特征在于，

从内部被真空排气的带电粒子光学镜筒出射一次带电粒子束；

向载置在非真空空间中的样本照射上述一次带电粒子束；

通过检测器检测通过向上述样本照射上述一次带电粒子束而得到的二次带电粒子；

从上述检测器的信号中除去由于上述一次带电粒子束直到到达上述样本为止被散射而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响，

使用上述一次带电粒子束中到达上述样本之前没有被散射的无散射带电粒子束的斑点形状、和上述一次带电粒子束中到达上述样本之前被散射了的散射带电粒子束的斑点形状，生成到达上述样本时的上述一次带电粒子束的斑点形状的模型，并使用该模型求出对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。