[发明专利]具有多个放大器路径的电源系统以及用于激发等离子体的方法有效
| 申请号： | 201480069013.2 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105830196B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | A·阿尔特;A·格雷德;D·格吕纳;A·拉班茨 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 放大器 路径 电源 系统 以及 用于 激发 等离子体 方法 | ||
【说明书】：
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