[发明专利]掩模及其制造方法在审
| 申请号： | 201480067341.9 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105814232A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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