[发明专利]显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：

在第一衬底上形成第一有机树脂层；

在所述第一有机树脂层上形成第一绝缘膜；

在所述第一绝缘膜上形成第一元件层；

在第二衬底上形成第二有机树脂层；

在所述第二有机树脂层上形成第二绝缘膜；

在所述第二绝缘膜上形成第二元件层；

将所述第一衬底与所述第二衬底贴合，以密封所述第一元件层及所述第二元件层；

通过降低在所述第一有机树脂层与所述第一衬底的界面处的附着性，从所述第一有机树脂层分离所述第一衬底；

使用第一粘合层贴合所述第一有机树脂层与第一柔性衬底；

通过降低在所述第二有机树脂层与所述第二衬底的界面处的附着性，从所述第二有机树脂层分离所述第二衬底；以及

使用第二粘合层贴合所述第二有机树脂层与第二柔性衬底，

其中，所述第一元件层包括像素部及电路部，

所述像素部包括显示元件及包含第一氧化物半导体层的第一晶体管，

并且，所述电路部包括包含第二氧化物半导体层的第二晶体管。

2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一有机树脂层及所述第二有机树脂层各包括环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂及聚酰胺酰亚胺树脂中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中通过准分子激光束的照射执行所述第一有机树脂层与所述第一衬底之间的附着性的降低以及所述第二有机树脂层与所述第二衬底之间的附着性的降低。

4.根据权利要求3所述的显示装置的制造方法，其中通过将从多个振荡器输出的激光束合成而得到所述准分子激光束。

5.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中在从所述第二有机树脂层分离所述第二衬底的步骤中，所述第一柔性衬底与滚筒的曲面接触。

6.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一绝缘膜及所述第二绝缘膜各包括氧化硅膜、氧氮化硅膜、氮化硅膜及氮氧化硅膜中的至少一个。

7.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一氧化物半导体层及所述第二氧化物半导体层各包括In-M-Zn氧化物，

并且M为Al、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、Nd及Hf中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一氧化物半导体层及所述第二氧化物半导体层各包括c轴取向的结晶。

9.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，

其中所述第一氧化物半导体层为单层，

并且，所述第二氧化物半导体层为多层。

10.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一氧化物半导体层具有与接触于所述第二晶体管的栅极绝缘膜的层相同的组成。

11.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述显示元件是有机EL元件。

12.一种显示装置，包括：

第一柔性衬底；

所述第一柔性衬底上的第一粘合层；

所述第一粘合层上的第一有机树脂层；

所述第一有机树脂层上的第一绝缘膜；

所述第一绝缘膜上的第一元件层，该第一元件层包括：

像素部，包括显示元件及包含第一氧化物半导体层的第一晶体管；以及

电路部，包括包含第二氧化物半导体层的第二晶体管，

所述第一元件层上的第二元件层；

所述第二元件层上的第二绝缘膜；

所述第二绝缘膜上的第二有机树脂层；

所述第二有机树脂层上的第二粘合层；以及

所述第二粘合层上的第二柔性衬底，

其中所述显示元件是有机EL元件。