[发明专利]密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于分隔压力不同的2个空间的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。

背景技术

在输送装置、半导体制造装置或机床等制造装置中，会使用使旋转台旋转、或者使半导体基板、工件或工具旋转的旋转机构。作为这样的旋转机构，例如在专利文献1中记载了一种定位装置(参照图2)。

专利文献1：日本特开2007－9939号公报

发明内容

记载于专利文献1的技术，通过在密封槽内收纳有作为接触式密封件的O形环，来使真空腔室等处理室内与外部环境隔离的同时使轴旋转。然而，O形环虽然可提高密封性，但是由于强制性地使其变形与轴接触，所以O形环或轴可能产生变形或磨损。伴随O形环或轴的变形或磨损，部件更换作业要花费大量的时间和劳动，所以想要抑制其频率，期望一种抑制可提高密封性的部件的老化而降低部件更换频率的密封机构。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够降低可提高密封性的部件的更换频率的密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置。

为了实现上述目的，第一种形态的密封机构，其分隔压力不同的2个空间，包括：外壳；轴，其插入到上述外壳中；环状密封部件，其与上述轴的径向外侧表面或固定于上述轴的旋转部的径向外侧表面接触，对间隙进行密封；以及润滑剂槽，其存储对上述环状密封部件与上述径向外侧表面之间供给的润滑剂。由此，容易保持在径向外侧表面与环状密封部件之间有润滑剂的状态，所以能够抑制环状密封部件、轴或旋转部的磨损。因此，本发明涉及的密封机构能够降低可提高密封性的部件的更换频率。

理想的形态为，优选上述外壳包括：密封件固定用间隔件，其规定上述间隙的大小并且将上述环状密封部件固定；以及盖部，其将上述密封件固定用间隔件固定，上述盖部的径向内侧侧面位于与上述环状密封部件的位置相比铅垂方向的上方，上述润滑剂槽设置于上述盖部的径向内侧侧面。由此，润滑剂在重力作用下被稳定地从润滑剂槽供给到环状密封部件与径向外侧表面之间。

理想的形态为，优选上述盖部的径向内侧侧面与上述环状密封部件的位置相比位于上述压力不同的2个空间中的低压侧的位置，上述润滑剂槽设置于上述盖部的径向内侧侧面的一部分，上述盖部的径向内侧侧面中与上述润滑剂槽相比位于上述压力不同的2个空间中的低压侧的部分和上述径向外侧表面之间的距离小于上述间隙的大小。由此，润滑剂难以通过盖部与径向外侧表面之间。因此，能够抑制润滑剂向内部空间侧飞溅的事态。

理想的形态为，优选上述外壳包括：密封件固定用间隔件，其规定上述间隙的大小并且将上述环状密封部件固定；以及盖部，其将上述密封件固定用间隔件固定，上述密封件固定用间隔件的径向内侧侧面位于与上述环状密封部件的位置相比铅垂方向的上方，上述润滑剂槽设置于上述密封件固定用间隔件的径向内侧侧面。由此，即使在盖部配置在与环状密封部件相比铅垂方向的下方的情况下，润滑剂在重力作用下也被稳定地从润滑剂槽供给到环状密封部件与径向外侧表面之间。因此，即使在盖部配置在与环状密封部件相比铅垂方向的下方的情况下，密封机构也能够降低可提高密封性的部件的更换频率。

理想的形态为，优选上述密封件固定用间隔件的径向内侧侧面与上述环状密封部件的位置相比位于上述压力不同的2个空间中的高压侧的位置，上述盖部的径向内侧侧面与上述环状密封部件的位置相比位于上述压力不同的2个空间中的低压侧的位置，上述盖部的径向内侧侧面与上述径向外侧表面之间的距离小于上述间隙的大小。由此，润滑剂难以通过盖部与径向外侧表面之间。因此，能够抑制润滑剂向内部空间侧飞溅的事态。

理想的形态为，优选上述轴以能够旋转的方式被支承。由此，密封机构能够在压力或气体不同的2个空间之间传递旋转运动。

理想的形态为，优选上述轴以能够进行使所述轴与所述外壳的相对位置在轴向上变化这样的直线运动的方式被支承。由此，密封机构能够在压力不同2个空间之间传递直线运动。

理想的形态为，优选密封机构的驱动装置包括上述密封机构、以及对上述轴施加旋转运动和直线运动中的至少一种运动的驱动装置。采用这种结构，密封机构的驱动装置能够实现较高的密封性。

理想的形态为，优选输送装置包括上述密封机构、以及使被输送物移动的可动部件，上述可动部件的动作与上述轴的旋转运动和直线运动中的至少一种运动连动。采用这种结构，输送装置能够实现较高的密封性。

理想的形态为，优选制造装置具有上述密封机构。采用这种结构，制造装置能够实现较高的密封性，提高产品的品质。