[发明专利]离子束扫描器、离子布植机及控制点离子束的方法

权利要求书

1.一种离子束扫描器，其特征在于，包括：

双平台扫描系统包括第一扫描平台和第二扫描平台；

所述第一扫描平台，具有第一开口以传送离子束，所述第一扫描平台对应第一振荡偏转信号以在所述第一开口内产生第一振荡偏转场；

所述第二扫描平台，设置于所述第一扫描平台下游、并具有第二开口以传送离子束，所述第二扫描平台对应第二振荡偏转信号以在所述第二开口内产生方向与所述第一振荡偏转场相反的第二振荡偏转场；以及

扫描控制器，当经扫描离子束离开定义共同聚焦点的所述第二扫描平台时，使所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号同步以产生多个离子轨迹；

其中所述双平台扫描系统经配置以在点束模式和带状束模式中转换，在所述点束模式中所述扫描控制器输出所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号，而在所述带状束模式中所述扫描控制器未启动。

2.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述第一振荡偏转场和所述第二振荡偏转场沿着第一方向延伸，所述第一方向和在所述第一扫描平台的离子束传播的方向垂直。

3.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述第一扫描平台和所述第二扫描平台为磁性扫描器。

4.根据权利要求3所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述第一振荡偏转信号是具有第一振荡周期以产生第一振荡磁场的第一振荡电流；

所述第二振荡偏转信号是具有所述第一振荡周期以产生第二振荡磁场的第二振荡电流；以及

所述扫描控制器可操作以同步所述第一振荡电流和所述第二振荡电流，使得所述第一振荡电流和所述第二振荡电流有180度相位偏差。

5.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述第一扫描平台和所述第二扫描平台可操作以产生急弯形状轨迹到多个离子轨迹，其中所述离子轨迹聚集在共同聚焦点中的虚拟源。

6.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述扫描控制器可操作以变化所述聚焦点的位置。

7.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述共同聚焦点位于所述第一扫描平台的上游。

8.根据权利要求1所述的离子束扫描器，其特征在于，其中所述离子束为点离子束。

9.一种离子布植机，其特征在于，包括：

离子源；

束线部件，以产生点离子束；以及

双平台扫描系统，可操作以扫描在多个离子轨迹上的所述点离子束以产生经扫描离子束，其中所述双平台扫描系统可操作以在第一扫描平台产生第一振荡偏转场以及在第二扫描平台产生方向与所述第一振荡偏转场相反的第二振荡偏转场，其中所述多个离子轨迹定义多个线，所述多个线聚集在位于所述双平台扫描系统上游的聚焦点；

其中所述双平台扫描系统包括扫描控制器，所述扫描控制器经配置以用来：

输出第一振荡偏转信号和第二振荡偏转信号，所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号分别产生所述第一振荡偏转场和所述第二振荡偏转场；以及

同步所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号以产生多个离子轨迹；

其中所述双平台扫描系统经配置以在点束模式和带状束模式中转换，在所述点束模式中所述扫描控制器输出所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号，而在所述带状束模式中所述扫描控制器未启动。

10.根据权利要求9所述的离子布植机，其特征在于，更包括质量分析狭缝，其中所述聚焦点位于所述质量分析狭缝上。

11.根据权利要求9所述的离子布植机，其特征在于，更包括准直器，位于所述双平台扫描系统的下游且经配置以接收所述经扫描离子束并产生经准直离子束，其中所述聚焦点位于所述准直器的目标点上。

12.根据权利要求9所述的离子布植机，其特征在于，其中所述第一振荡偏转场和所述第二振荡偏转场沿着第一方向延伸，所述第一方向和在所述第一扫描平台的离子束传播的方向垂直。

13.根据权利要求9所述的离子布植机，其特征在于，其中所述第一扫描平台和所述第二扫描平台为磁性扫描器。

14.根据权利要求9所述的离子布植机，其特征在于，其中所述扫描控制器可操作在所述第一振荡偏转信号和所述第二振荡偏转信号间产生180度相位偏差。