[发明专利]隔膜泵

说明书

技术领域

本发明涉及具有翻卷式隔膜(rolling diaphragm)的隔膜泵。

背景技术

以往，在半导体、液晶、有机EL、太阳能电池、LED的制造过程等中，作为为了进行药液等液体的供给所使用的隔膜泵，已知具有例如专利文献1所述的隔膜泵。

这种隔膜泵具有：缸体(壳体)；活塞，容纳在所述缸体内并能够在其轴心方向上进行往复移动；翻卷式隔膜，根据所述活塞的往复移动来进行动作；线性致动器(驱动装置)，具有马达部以及由螺纹轴组成的输出轴，该螺纹轴与所述活塞连接，以起到活塞杆的作用。

所述线性致动器构成为，安装在所述缸体上，能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动并从所述输出轴输出至所述活塞，以使所述活塞在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴与所述活塞同轴配置且以螺纹结合的方式连接，从而能够与该活塞一体地在轴心方向上进行往复移动。

然而，在所述隔膜泵中，所述线性致动器的输出轴在从该线性致动器的主体中的面对缸体内的相对面插入所述缸体内后到与所述活塞螺纹连接为止的期间，没有被任何构件支撑，也没被引导在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴只不过是架设在所述线性致动器的主体与所述活塞之间。

因此，在所述活塞伴随着所述输出轴的输出而进行往复移动时，该活塞在缸体的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向上)上晃动而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形等，从而该翻卷式隔膜可能无法正常动作(变形)。即，存在损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性的情况。

此外，在所述隔膜泵中，在与所述线性致动器的输出轴螺纹结合的所述活塞与所述缸体之间，具有允许所述活塞进行往复移动且限制旋转的如下面那样的止转单元，因此，所述活塞进一步晃动，从而容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。

即，所述止转单元由长孔和卡合销构成，该长孔沿着轴心方向形成在所述缸体的侧壁上，该卡合销以能够通过该长孔的方式从所述活塞的外周面向径向突出。并且，所述卡合销以突出端部位于所述缸体的外部的方式通过所述长孔，从而能够一边被该长孔引导，一边与所述活塞一体地进行往复移动。

因此，在所述止转单元中，所述卡合销与所述长孔的嵌合会变松。因此，在所述活塞进行往复移动时，从所述输出轴接受输入旋转的所述活塞在所述缸体的周向上晃动，从而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形，因此，该翻卷式隔膜可能不会正常动作(变形)。其结果，容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-23935号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明鉴于这样的问题而提出，其目的在于，提供一种隔膜泵，能够有效地抑制因翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。

用于解决问题的手段

技术方案1的发明为一种隔膜泵，其中，

具有：

壳体，

活塞，设置在所述壳体内并与该壳体同轴配置，且能够在所述壳体的轴心方向上进行往复移动，

轴，在轴心方向的一端侧与所述活塞连接的状态下进行与所述活塞进行连动，

翻卷式隔膜，具有配置在所述活塞的轴心方向的一侧的盖部、安装在所述壳体上的开放端部、以及配置在所述盖部与所述开放端部之间的折返部，相对于被所述壳体固定位置的所述开放端部，所述盖部能够与所述活塞一体地进行往复移动，

泵室，通过所述翻卷式隔膜划分形成在所述壳体内的所述翻卷式隔膜的轴心方向的一侧，并且能够变更室内的容积，

驱动装置，具有马达部和与所述轴同轴配置且与所述轴的轴心方向的另一端侧连接的输出轴，并且该驱动装置安装在所述壳体的轴心方向的另一侧，该驱动装置能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴输出至所述轴，以经由所述轴使所述活塞在轴心方向上进行往复移动，

引导构件，配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在所述壳体内，能够引导所述轴在轴心方向上移动，

限制机构，在所述壳体内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心进行旋转。