[发明专利]光纤激光装置

说明书

光纤激光装置(1)具备：射出激发光的激发光源(10)；利用上述激发光对信号光进行放大并射出的放大用光纤(30)；与信号光的功率相比优先检测由在放大用光纤(30)传播的信号光或者从放大用光纤(30)射出的信号光产生的受激拉曼散射光的功率的检测部(71)；基于用检测部(71)检测到的光的功率对激发光的功率进行控制的控制部(80)。

技术领域

本发明涉及能够进行出射光的功率的控制的光纤激光装置，是适于控制功率大的出射光的光纤激光装置的发明。

背景技术

光纤激光装置因为能够得到聚光性优异、功率密度高并且小的电子束光点的光，所以在激光加工领域、医疗领域等各种领域中被使用。

在这样的光纤激光装置中，有时来自光纤激光装置的出射光在被加工体等反射，而反射的光从光纤激光装置的出射端入射。另外，即使在射出的光再次入射的情况之外，也有在光纤激光装置内光在光纤的连接部等反射的情况。特别是在射出脉冲状的光的光纤激光装置中，即使出射光的每单位时间的平均功率小，但因为脉冲状的出射光的峰值功率大，所以反射光的峰值功率也有变大的趋势。该反射光在光纤激光装置内放大，放大的反射光向光不应该入射的激发光源等部位入射，有时给该部位带来损伤。

下述专利文献1记载了测定稀土掺杂光纤向激发光源侧的返回光的强度，并在该返回光的强度超过规定值的情况下减少激发光源的输出的光纤激光装置。

专利文献1：日本专利第4699131号公报

根据上述专利文献1记载的光纤激光装置，通过调整激发光的强度，能够防止光纤激光装置的损伤。但是，以更高精度控制激发光的功率，需要能够以更高精度控制出射光的功率的光纤激光装置。特别是近年来有光纤激光装置的出射光的功率变大的趋势，在出射光的功率大的情况下有想用更高精度控制出射光的功率这一要求。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供能够以高精度控制功率大的出射光的光纤激光装置。

为了解决上述课题，本发明的光纤激光装置的特征在于，具备：激发光源，其射出激发光；放大用光纤，其利用上述激发光将信号光放大并射出；检测部，与上述信号光的波长成分的功率相比其优先检测由在上述放大用光纤传播的上述信号光或者从上述放大用光纤射出的上述信号光产生的受激拉曼散射光的波长成分的功率；以及控制部，其基于上述检测部检测到的光的功率对上述激发光的功率进行控制。

受激拉曼散射光是在光纤内传播的光的功率密度高的情况下产生的光。因此，若信号光在放大用光纤被放大，则有由在放大用光纤传播的信号光、从放大用光纤射出的信号光产生受激拉曼散射光的趋势。该受激拉曼散射光的功率相对信号光的功率呈指数关系变大。换句话说，在信号光的功率大的区域中，受激拉曼散射光的功率的变化率比信号光的功率的变化率大。因此，通过与信号光的波长成分相比优先检测受激拉曼散射光的波长成分的功率，并基于检测到的光的功率控制激发光的功率，能够在成为受激拉曼散射光的基础的信号光的功率大的区域中，微调激发光的功率。这样，能够以高精度控制功率大的出射光的功率。

此外，在本说明书中，信号光是指被放大用光纤放大的光，没有必要在光中包含信号。

另外，上述光纤激光装置也可以还具备：第一镜，其设置于上述放大用光纤的一侧并对上述信号光进行反射；第二镜，其设置于上述放大用光纤的另一侧并以比上述第一镜低的反射率对上述信号光进行反射。

通过这样构成，能够将光纤激光装置设为共振型的光纤激光装置。而且，基于检测到的受激拉曼散射光的波长成分的功率，在信号光的功率大的区域中，微调激发光的功率，能够以高精度控制共振的信号光的功率。

在该情况下，优选上述检测部以上述第一镜为基准配置于与上述放大用光纤相反的一侧。