[发明专利]用于透镜组件的UV保护涂层

说明书

一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。一种方法，包括：应用光吸收剂，该光吸收剂不向透镜透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及配置该光吸收剂和该粘合剂从而使得所吸收的光无法入射至该粘合剂。

本申请要求2013年9月6日提交的美国申请序列号14/020102在美国法典第35篇第120条款下的优先权的权益，其内容通过引用以其全文依赖且结合在此。

技术领域

本说明书总体上涉及透镜的保护涂层以及用于将透镜粘附至光学系统的方法。

背景技术

透镜系统被用于各种最终用户应用，包括用于光刻和半导体检查设备。在这些应用中，来自光源的光被引入到系统以便进行操作。然而，在一些应用中，引入到透镜元件的UV光可降解(degrade)被定位成将透镜元件耦合至透镜固持器的粘合剂。粘合剂的降解可导致透镜元件的未对准。

从而，用于光学系统的UV保护涂层是可期望的。

发明内容

根据一个实施例，描述了一种光学组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。

在另一个实施例中，描述了一种光学组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及定位于该光吸收剂上的保护层。

在又一个实施例中，描述了一种用于减少光学组件中的粘合剂的降解的方法，包括：将光吸收剂应用于透镜，其中，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；配置所述光吸收剂和所述粘合剂从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。

附加特征以及优点将在以下详细描述中予以阐明、并且部分从该描述中对本领域普通技术人员而言将变得非常明显或者通过实践本文中所描述的实施例很容易被识别，包括以下详细描述、权利要求书以及所附附图。

应当理解，上述概括描述和以下详细描述两者均描述各实施例并且旨在为理解所请求保护的主题的本质和特征提供概要或框架。附图被包括以便提供对各实施例的进一步理解，并被结合在本说明书中并构成本说明书的一部分。附图展示了本文所描述的各实施例，并且与详细描述一起用于解释所请求包括的主题的原理和操作。

附图说明

附图中阐明的实施例在本质上是说明性的且示例性的并且并不旨在限制由权利要求书限定的主题。当结合以下附图阅读时，能够理解说明性实施例的以下详细描述，其中，相似结构用相似参考数字指示，并且在附图中：

图1示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的光学系统的切除前视图；

图2示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的俯视图；

图3示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的沿图2的线A-A示出的截面前视图；

图4示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的在图3的视图J示出的详细截面前视图；