[发明专利]具有偏振的样品照明的扫描显微镜

权利要求书

1.一种用于检测样品的方法，其中给所述样品加载了照明光并且将来自所述样品的探测光引导至探测器，并且所述照明光被引导通过声光组件，借助所述声光组件能够暂时中断给所述样品加载照明光，

其中，利用第一照明光束和第二照明光束照射所述样品，所述第一照明光束具有第一线偏振方向，所述第二照明光束的线偏振方向持续地在第一线偏振方向和不同于所述第一线偏振方向的第二线偏振方向之间转换，具有所述第一线偏振方向的照明光沿着第一光路行进，并且具有所述第二线偏振方向的照明光沿着第二光路行进，并且所述声光组件将所述第一光路和所述第二光路组合起来，以使得具有所述第一线偏振方向的照明光与具有所述第二线偏振方向的照明光共线组合地抵达共同的照明光束路径以用于照射所述样品，

其中，所述声光组件包括一个声光可调滤波器，一个机械波或多个机械波在所述声光可调滤波器中传播，所述照明光束中的至少一个在所述一个机械波或多个机械波处被衍射并因此被引导到所述照明光束路径以用于照射所述样品。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

a.第一机械波在所述声光组件中传播，所述第一机械波的频率被选择，以使得所述第一照明光束在所述第一机械波处被衍射并因此被引导到所述照明光束路径以用于照射所述样品；或

b.第二机械波在所述声光组件中传播，所述第二机械波的频率被选择，以使得如果所述第二照明光束具有所述第一线偏振方向，则所述第二照明光束在所述第二机械波处被衍射并因此被引导到所述照明光束路径以用于照射所述样品；或

c.第三机械波在所述声光组件中传播，所述第三机械波的频率被选择，以使得如果所述第二照明光束具有所述第二线偏振方向，则所述第二照明光束在所述第三机械波处被衍射并因此被引导到所述照明光束路径以用于照射所述样品。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，主照明光束以共线组合的方式包含所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一，并且根据线偏振在空间上被分割，具有不同线偏振的部分相互分离地被引导至所述第一光路和第二光路。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一照明光束和所述第二照明光束的焦点借助光束偏转装置在所述样品上移动或穿过所述样品，并且在该情况下探测来自所述样品的探测光。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，利用所述声光组件暂时中断给样品加载所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，

如果所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一照射处于待检测区域之外的样品区域，则利用所述声光组件中断给样品加载所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一；或

利用所述声光组件在曲折型扫描的折回区域中或在返回路径上中断给样品加载所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，借助所述声光组件来调节或控制所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一的光功率水平。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述第一照明光束和所述第二照明光束中至少之一是脉冲式的；或

所述第一照明光束的脉冲重复频率或所述第二照明光束的脉冲重复频率位于40 MHz至100 MHz的范围内。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一照明光束和所述第二照明光束以相同的脉冲重复频率脉动。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一照明光束的脉冲重复频率或所述第二照明光束的脉冲重复频率为80 MHz。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，具有所述第一线偏振方向的照明光沿着所述第一光路行进并且包括第一照明光脉冲串；具有所述第二线偏振方向的照明光沿着所述第二光路行进并且包括第二照明光脉冲串，

调节或控制所述第一照明光脉冲串相对于所述第二照明光脉冲串的相位。