[发明专利]用于控制微镜扫描仪的方法和微镜扫描仪

权利要求书

1.用于控制微镜扫描仪的方法，具有下列方法步骤：

提供（S01）射击图案（13），所述射击图案（13）至少包括关于根据微镜扫描仪的可调微机械镜（14）的镜位置（α1，α2，α3）的第一激励信号的信息，所述第一激励信号被确定用于激励微镜扫描仪的光源（10）；

确定（S02）微机械镜（14）的当前镜位置（α1，α2，α3）；

借助于处于所确定的当前镜位置（α1，α2，α3）的微机械镜（14）通过光束（20）的偏转将光束（20）发送（S03）到空间角中，所述光束（20）根据微机械镜（14）的所确定（S02）的当前镜位置（α1，α2，α3）按照射击图案（13）的第一激励信号来生成；

借助于微镜扫描仪的光传感器（16）测量（S04）在对象（30）处以空间角被反射的光束（22）以用于确定对象（30）与微镜扫描仪之间的距离；

至少根据所确定的距离和微机械镜（14）的所确定的当前镜位置（α1，α2，α3）来确定（S05）对象（30）关于微镜扫描仪的位置和/或对象（30)的类型;以及

根据对象（30）的所确定的位置和/或类型来匹配（S06）射击图案（13）。

2.根据权利要求1所述的方法，具有下列方法步骤：

利用第二激励信号激励可调微机械镜（14），使得可调微机械镜（14）循环地经过镜位置（α1，α2，α3）的所确定的序列；

其中可调微机械镜的（14）的当前镜位置（α1，α2，α3）的确定（S02）基于第二激励信号进行。

3.根据权利要求2所述的方法，其中可调微机械镜（14）循环地经过的镜位置的所确定的序列能够在持续运行中根据外部传感器（2）的第一信号和/或根据用户的第一输入来匹配。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中射击图案（13）能够在微镜扫描仪的持续运行中根据外部传感器（2）的第二信号和/或根据用户的第二输入来匹配。

5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中射击图案（13）被匹配（S06），使得根据连续地被相继地经过的第一镜位置生成所述光束（20）中的第一多个光束，其中所述第一多个光束中的光束（20）在时间上被分别相等的第一时间间隔彼此间隔开。

6.根据权利要求5所述的方法，其中射击图案（13）被匹配（S06），使得根据连续地被相继地经过的第二镜位置生成所述光束（20）中的第二多个光束，其中所述第二多个光束中的光束（20）在时间上被分别相等的第二时间间隔彼此间隔开；并且

其中第二时间间隔短于或长于第一时间间隔。

7.根据权利要求5所述的方法，其中射击图案（13）被匹配（S06），使得根据连续地被相继地经过的第三镜位置生成所述光束（20）中的第三多个光束，其中所述光束（20）中的第三多个光束中的光束（20）与所述光束（20）中的第一多个光束中的光束（20）相比以更宽或更窄的射束形状来生成。

8.根据权利要求5所述的方法，其中射击图案（13） 被匹配（S06），使得根据连续地被相继地经过的第四镜位置生成所述光束（20）中的第四多个光束；

其中所述光束（20）中的第四多个光束中的光束（20）与所述光束（20）中的第一多个光束中的光束（20）相比以更高或更小的辐射功率来生成。

9.一种微镜扫描仪，具有：

可调微机械镜（14）；

可激励光源（10），其被构造用于根据射击图案（13）的第一激励信号并且根据可调微机械镜（14）的所确定的当前镜位置生成光束（20），其中射击图案（13）至少包括关于根据可调微机械镜（14）的镜位置（α1，α2，α3）的第一激励信号的信息，所述第一激励信号被确定用于激励光源（10）；

其中光源（10）和可调微机械镜（14）关于彼此被布置，使得所生成的光束（20）能够借助于微机械镜（14）被偏转以用于将光束（20）发送（S03）到空间角中；

镜位置确定设备（15），其被构造用于确定（S02）可调微机械镜（14）的当前镜位置（α1，α2，α3）；

光传感器（16），其被构造用于测量（S04）在对象（30）处以空间角反射到微镜扫描仪的光束（22）；

计算设备（17），其被构造用于确定由所测量的被反射的光束（22）经过的距离并且根据所确定的距离和所确定的当前镜位置（α1，α2，α3）确定对象（30）的位置和/或类型；以及

射击图案匹配设备（3），其被构造用于匹配（S06）所提供的射击图案（13）。