[发明专利]层叠膜、有机电致发光装置、光电转换装置及液晶显示器有效
| 申请号: | 201480052236.8 | 申请日: | 2014-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN105579227B | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
| 发明(设计)人: | 长谷川彰 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
| 主分类号: | B32B7/02 | 分类号: | B32B7/02;B32B9/00;C23C16/42;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 层叠 有机 电致发光 装置 光电 转换 液晶显示器 | ||
技术领域
本发明涉及具有阻气性的层叠膜。此外,涉及具有该层叠膜的有机电致发光装置、光电转换装置及液晶显示器。
背景技术
阻气性膜作为适合饮食品、化妆品、洗剂等物品的填充包装的包装用容器是适宜的。近年来,提出了以塑料膜等为基材,且在基材的一个表面上层叠氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、氧化铝等无机物而成的具有阻气性的层叠膜(以下,有时也简称为“层叠膜”)。
作为将无机物的薄膜层叠于塑料基材的表面上的方法,已知有真空蒸镀法、溅射法、离子镀法等物理气相生长法(PVD)、减压化学气相生长法、等离子体化学气相生长法等化学气相生长法(CVD)。例如,在专利文献1中,公开了具有含有硅原子、氧原子及碳原子的薄膜层的层叠膜。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2011-73430号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是,上述的层叠膜在阻气性方面并不令人十分满意。
本发明是鉴于这样的情况而进行的,其目的是提供具有高的阻气性的层叠膜。此外,目的是一并提供具有该层叠膜的有机电致发光装置、光电转换装置及液晶显示器。
用于解决课题的方案
为了解决上述的课题,本发明的一方式提供一种层叠膜,其是具有(即,具备)基材和形成于上述基材的至少一侧的表面上的至少1层的薄膜层的层叠膜,
上述薄膜层中的至少1层满足下述所有条件(i)~(iv):
(i)含有硅原子、氧原子及碳原子,
(ii)碳的原子数相对于硅的原子数、氧的原子数及碳的原子数的总原子数的含有率X(at%)为3~25at%,
(iii)平均密度d(g/cm3)为2.12g/cm3以上且低于2.25g/cm3,
(iv)上述碳的原子数的含有率X(at%)和平均密度d(g/cm3)满足下述式(1)所表示的条件:
d>(2.22-0.008X)…(1)。
在本发明的一方式中,上述薄膜层优选为通过等离子体化学气相生长法而形成的层。
在本发明的一方式中,上述等离子体化学气相生长法中使用的成膜气体优选包含有机硅化合物和氧。
在本发明的一方式中,上述薄膜层优选为通过将上述基材配置在一对成膜辊上,并在上述一对成膜辊间进行放电而产生等离子体的等离子体化学气相生长法而形成的层。
在本发明的一方式中,优选在上述一对成膜辊间进行放电时,使上述一对成膜辊的极性交替地颠倒。
在本发明的一方式中,上述薄膜层优选为通过在上述一对成膜辊的各辊的内部具有不旋转而被固定的磁场产生机构的等离子体化学气相生长法而形成的层。
在本发明的一方式中,上述基材优选包含选自由聚酯树脂及聚烯烃树脂组成的组中的至少一种树脂。
在本发明的一方式中,上述基材优选包含选自由聚对苯二甲酸乙二醇酯及聚萘二甲酸乙二醇酯组成的组中的至少一种树脂。
本发明的一方式为一种有机电致发光装置,其具有(即,具备)上述的层叠膜。
本发明的一方式为一种光电转换装置,其具有(即,具备)上述的层叠膜。
本发明的一方式为一种液晶显示器,其具有(即,具备)上述的层叠膜。
发明效果
根据本发明,能够提供具有高的阻气性的层叠膜。此外,能够提供具有该层叠膜的有机电致发光装置、光电转换装置及液晶显示器。
附图说明
图1是表示本实施方式的层叠膜的例子的示意图。
图2是表示本实施方式的层叠膜的制造中使用的制造装置的一个例子的示意图。
图3是本实施方式的有机电致发光装置的侧截面图。
图4是本实施方式的光电转换装置的侧截面图。
图5是本实施方式的液晶显示器的侧截面图。
具体实施方式
[层叠膜]
本实施方式的层叠膜为下述层叠膜,其是具有基材和形成于上述基材的至少一侧的表面上的至少1层的薄膜层的层叠膜,
上述薄膜层中的至少1层满足上述所有条件(i)~(iv)。
在本实施方式的层叠膜中,薄膜层H也可以含有氢原子。
以下,参照图对本实施方式所述的层叠膜进行说明。另外,在以下的全部附图中,为了容易观察附图,各构成要素的尺寸或比率等适当不同。
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