[发明专利]可曝光成像的材料和相关的电子器件及方法在审

专利信息
申请号: 201480050881.6 申请日: 2014-07-15
公开(公告)号: CN105555822A 公开(公告)日: 2016-05-04
发明(设计)人: 吕少峰;D·巴策尔;黄春;王鸣辉;M·麦克雷;夏禹;安东尼欧·菲奇提 申请(专利权)人: 飞利斯有限公司
主分类号: C08G12/28 分类号: C08G12/28;C09K11/06;H01L51/50;H01L51/56
代理公司: 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 代理人: 尹吉伟
地址: 美国伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 曝光 成像 材料 相关 电子器件 方法
【权利要求书】:

1.一种可曝光成像的组合物,所述组合物包括具有下式的聚合物:

其中:

U和U’,每次出现,独立地选自由以下组成的组:卤素、CN、C1-6烷基基团、C1-6卤代烷基基团;

W和W’独立地为–Ar[–Y–Ar]q–,其中:

Ar,每次出现,独立地为二价C6-18芳基基团;

Y,每次出现,独立地选自由以下组成的组:–O–、–S–、–S(O)2–、–(CR’R”)r–、–C(O)–和共价键,其中R’和R”,每次出现,独立地选自由以下组成的组:H、卤素、CN、C1-10烷基基团、C1-10卤代烷基基团;并且r选自1、2、3、4、5、6、7、8、9和10;并且

q选自0、1、2、3、4、5、6、7、8、9和10;

Z和Z’独立地选自由以下组成的组:–O–、–S–和–Se–;

L和L’,每次出现,独立地选自由以下组成的组:–O–、–S–、二价C1-10烷基基团、二价C6-18芳基基团和共价键;

T和T’,每次出现,独立地为Q或R,其中:

Q是含有乙烯基部分、乙炔基部分、环氧基部分、或其组合的可交联基团;和R选自由以下组成的组:H、卤素、C1-10烷基基团、C1-10卤代烷基基团和任选由1至5个取代基取代的C6-10芳基基团,所述取代基独立地选自由以下组成的组:卤素和CN,条件是至少一个T是Q;

p为1、2、3、4、5、6、7或8;

p’为0、1、2、3、4、5、6、7或8;

x和x’独立地为0、1、2、3或4;

m是实数,其中0<m≤1;并且

n是10至500范围内的整数。

2.权利要求1所述的组合物,其中Q是含有二烯基部分、丙烯酸根部分、香豆素部分或其组合的可交联基团。

3.权利要求1所述的组合物,其中Q选自由以下组成的组:

其中R1是H或C1-20烷基基团。

4.权利要求1所述的组合物,其中U和U’,每次出现,独立地选自由以下组成的组:F、Cl、CH3和CF3;并且x和x’,每次出现,独立地为0、1、2或4。

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