[发明专利]压力式流量控制装置

权利要求书

1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，具备：

主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路；

压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于该主体，且开闭所述 流体通路；

流孔，所述流孔插入设置于所述压力控制用控制阀的下游侧的所述流体 通路；和

压力传感器，所述压力传感器固定于所述主体，且检测所述压力控制用 控制阀与所述流孔之间的所述流体通路的内压，

所述流体通路具备：第一通路部，所述第一通路部连接所述压力控制用 控制阀与所述压力传感器的压力检测面上的压力检测室；及第二通路部，所 述第二通路部与该第一通路部分离，且连接所述压力检测室与所述流孔，所 述流体通路以经由所述压力检测室的方式构成。

2.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，在所述压 力控制用控制阀的下方配设有所述压力传感器，所述第一通路部以从所述压 力控制用控制阀下垂至所述压力检测室的方式构成。

3.根据权利要求2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力 控制用控制阀具备金属制隔膜阀体，所述第一通路部以从所述压力控制用控 制阀的所述金属制隔膜阀体的中心部下垂的方式构成。

4.根据权利要求2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述第一 通路部连接于所述压力检测室的端部。

5.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述第二 通路部连接于所述压力检测室的端部。

6.根据权利要求4所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述第二 通路部连接于所述压力检测室的与所述第一通路部相反侧的端部。

7.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力 传感器经由环形垫圈插接于在所述主体的底面形成的凹部，所述压力检测室 被所述凹部的内底面与所述环形垫圈以及所述压力传感器的压力检测面所包 围，所述环形垫圈使两侧的密封面偏向内周面侧而形成。

8.根据权利要求7所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力 检测室的所述凹部的内底面与所述压力检测面的距离是0.13～0.30mm。

9.一种压力式流量控制装置，其特征在于，具备：

主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路；

压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于该主体，且开闭所述 流体通路；

流孔，所述流孔插入设置于所述压力控制用控制阀的下游侧的所述流体 通路；和

压力传感器，所述压力传感器固定于所述主体，且检测所述压力控制用 控制阀与所述流孔之间的所述流体通路的内压，

所述压力传感器配设在所述压力控制用控制阀的下方，

所述流体通路具备：第一通路部，所述第一通路部从所述压力控制用控 制阀下垂至所述压力传感器的压力检测面上的压力检测室；及第三通路部， 所述第三通路部连接该第一通路部与所述流孔。

10.根据权利要求9所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压 力传感器经由环形垫圈插接于在所述主体的底面形成的凹部，所述压力检测 室被所述凹部的内底面与所述环形垫圈以及所述压力传感器的压力检测面所 包围，所述环形垫圈使两侧的密封面偏向内周面侧而形成。

11.根据权利要求10所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述环 形垫圈具备：两侧的密封面、内周面、外周面、所述内周面与两侧的密封面 之间的内侧锥形面、及所述外周面与两侧的密封面之间的外侧锥形面，所述 内侧锥形面比所述外侧锥形面小。

12.根据权利要求10所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压 力检测室的所述凹部的内底面与所述压力检测面的距离是0.13～0.30mm。