[发明专利]聚氨酯安装垫的制备方法

说明书

本发明涉及一种用于制备聚氨酯安装垫的方法，所述方法包括以下步骤：使包含聚氨酯树脂和DMF溶剂的树脂组合物湿固化；以及将湿固化产物浸于包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液中。根据本发明，通过在制备垫的内部均匀地形成长且大的孔，可提供能够显示出低硬度、优异的压缩率等的聚氨酯安装垫，该聚氨酯安装垫在整个垫上呈现出更均匀的厚度、压力分布或张力分布等，并因此实施更均匀且更高效率的抛光。

技术领域

本发明涉及一种制备聚氨酯安装垫的方法，更具体而言，涉及一种容易且快速制备聚氨酯安装垫的方法，所述聚氨酯垫具有均匀形成于其内部的长且大的孔，从而呈现低硬度、优异的压缩率和高弹性，且可实现更均匀且高效率的抛光。

背景技术

由于需要高度集成的半导体器件或显示器件中使用的基板需有精细且精确的表面，因此各种平整化方法应用于实现这一要求。特别地，随着半导体器件或显示器件的高度集成和高效能的发展趋势，通常使用的一种抛光方法是，通过使抛光垫和待抛光物体相对移动，同时将包含抛光粒子和各种化学成分的浆料组合物供于抛光垫和待抛光物体之间。在抛光方法中，为了更精确地抛光，在抛光或加工过程中，将待抛光物体固定在安装垫上，以保持固定的定位和位置不变。

特别地，对于用作显示器的玻璃基板而言，玻璃基板的表面粗糙度和取决于定位的差分步长(step difference)为重要的操控因素，并且应控制在亚微米级至几百微米的范围内。而且，波纹度应控制在40nm水平，且特别是对于应用于TFT的玻璃基板而言，需要将波纹度控制在约20nm。

为了能够达到这种精确的抛光，除了控制抛光过程和设备的条件之外，安装垫应具有高压缩率和压缩回复率，且安装垫应在整个区域具有更均匀的厚度、压力分布和张力分布。

然而，由于先前已知的安装垫呈现出在其内部形成的孔的不均匀的尺寸和分布，且不具有良好的压缩率和压缩回复率，所以该安装垫不足以在要求更均匀且精确抛光的领域内应用，例如用于显示器的玻璃基板的抛光。

因此，需要开发一种快速且容易的制备聚氨酯安装垫的方法，所述聚氨酯安装垫包括形成于其内部的均匀且形状规则的孔，从而表现出改进的物理性质包括压缩率和压缩回复率等的，并且可实现更均匀且高效率的抛光。

发明内容

技术问题

本发明的目的在于提供一种用于容易且快速制备聚氨酯安装垫的方法，所述聚氨酯安装垫具有在其内部均匀形成的长且大的孔，由此呈现低硬度、优异的压缩率等，且可实现更均匀且高效率的抛光。

技术方案

本发明提供一种制备聚氨酯安装垫的方法，所述方法包括以下步骤：使包含聚氨酯树脂和DMF溶剂的树脂组合物湿固化；将湿固化产物浸渍在包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液中。

在下文中，将详细说明根据本发明的具体实施方案制备聚氨酯安装垫的方法和聚氨酯安装垫。

如本文中使用的术语“安装垫”是指起如下作用的垫：在制备用于半导体器件或显示器件的基板的过程中，在抛光过程中用于将载体粘附或固定到待抛光的薄膜。

根据本发明的一个实施方案，提供一种用于制备聚氨酯安装垫的方法，所述方法包括以下步骤：使包含聚氨酯树脂和DMF溶剂的树脂组合物湿固化；以及将湿固化产物浸渍在包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液中。

发明人研究了聚氨酯安装垫的制备，经实验证实，如果使聚氨酯树脂组合物湿固化，则内部可均匀地形成长椭圆形孔，且通过将产物浸渍在具有特定温度的包含酸催化剂或碱催化剂的水溶液中，可使聚氨酯树脂的分子量降低，从而赋予所制备的聚氨酯安装垫更高的压缩率和压缩回复率以及优异的弹性和安装性能，从而完成本发明。

特别地，一个实施方案的方法可通过包括特定的浸渍步骤，在短时间内使最终获得的聚氨酯安装垫中包含的聚氨酯本身的重均分子量降低，同时保持在湿固化过程中形成于聚氨酯树脂内部的孔的形状。