[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及信息记录介质用玻璃基板的制造方法。

背景技术

近年来，关于搭载记录介质(磁盘)的硬盘驱动(HDD)装置，研发出了在一 片2.5英寸的记录介质中具有记录容量为500GB(单面250GB)、面记录密度为 630Gbit/平方英寸以上的记录密度的装置。

在这些HDD装置中，磁头与磁盘之间的距离(flyingheight，悬浮高度)缩小。 随着悬浮高度缩小，为了抑制起因于磁盘的不良(headcrash磁头碰撞)，对作为磁盘 所允许的基板表面的清洁度及基板表面的平坦性的要求日益严格。

另外，从HDD装置的耐久性的角度考虑，对HDD装置要求较强的抗冲击性。 近年来，在HDD装置中，相比铝基板更多地采用玻璃基板。为了提高玻璃基板的强 度，已知对玻璃基板实施化学强化处理。在日本特开2008－234823号公报(专利文 献1)中公开了采用化学强化处理工序形成的磁盘。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－234823号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，近年来在搭载于移动PC等的HDD装置中，在施加了假定程度以上的较 大冲击时，有时HDD装置不工作。作为HDD装置不工作的具体原因，可以举出在 坠落等冲击时HDD装置内的磁盘破损。

本发明正是鉴于上述实际情况而提出的，其目的在于，提供能够实现磁盘的强 度的进一步提高的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。

用于解决问题的手段

本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法包括以下工序：形成整体呈圆盘 状的玻璃基板，该玻璃基板具有一个主表面、另一个主表面、规定孔的内周端面、及 外周端面；对所述内周端面进行基于氧化铈的内端研磨；进行所述玻璃基板的清洗； 在进行所述玻璃基板的清洗后，对所述玻璃基板的表面进行化学强化，进行所述玻璃 基板的清洗的工序包括以下工序：在所述玻璃基板的所述内周端面处进行清洗，使得 φ0.1μm以上的氧化铈的残渣量为3个/mm²以下。

在另一方式中，在进行所述玻璃基板的清洗的工序中，在将所述玻璃基板浸渍 于清洗液中的状态下，将振动棒插入所述孔中，对所述振动棒施加超声波而使所述振 动棒振动，进行所述玻璃基板的清洗。

在另一方式中，对所述振动棒安装刷子，在使所述刷子与所述内周端面抵接的 状态下进行所述玻璃基板的清洗。

在另一方式中，包括如下的工序：在进行所述化学强化后，进行至少一次以上 的精密研磨。

在另一方式中，所述玻璃基板的厚度为0.65mm以下。

发明效果

根据本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，能够提供可以实现磁盘的 强度的进一步提高的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。

附图说明

图1是示出信息记录(HDD)装置的立体图。

图2是示出利用信息记录介质用玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板的俯视 图。

图3是沿着图2中的III-III线的箭头方向观察的截面图。

图4是作为信息记录介质示出具备玻璃基板的信息记录介质的俯视图。

图5是沿着图4中的V-V线的箭头方向观察的截面图。

图6是示出玻璃基板的制造方法的流程图。

图7是示出在玻璃基板的制造方法中产生的问题的示意图。

图8是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的示意图。

图9是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的放大图。

图10是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的另一清洗装置的部分放大图。

图11是示出在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置所使用的刷子的 图，(A)是刷子的整体图，(B)是截面图。

图12是另一实施方式的在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的放 大图。

图13是示出实施例1～3、比较例1～3的坠落冲击试验的结果的图。

具体实施方式