[发明专利]用脉冲激光束加工工件的方法和激光装置

权利要求书

1.用脉冲激光束(L)加工工件(12)的方法，其中，在加工期间，在一个激光脉冲的持续时间内和/或至少在两个在工件(12)上至少部分彼此重叠的激光脉冲之间，非线性地改变激光脉冲的在光束横截面上的光谱相位的横向分布。

2.按照权利要求1所述的方法，其中，通过改变B积分的横向分布来改变该光谱相位的横向分布。

3.按照权利要求2所述的方法，其中，脉冲持续时间小于20ps，并且该光谱相位如此调整，即激光脉冲的B积分在遇到工件上时横向于光轴改变并且具有在-50弧度至+50弧度之间的值。

4.按照权利要求2所述的方法，其中，脉冲持续时间小于10ps，并且该光谱相位如此调整，即激光脉冲的B积分在遇到工件上时横向于光轴改变并且具有在-20弧度至+20弧度之间的值。

5.按照权利要求2所述的方法，其中，脉冲持续时间小于2ps，并且该光谱相位如此调整，即激光脉冲的B积分在遇到工件上时横向于光轴改变并且具有-5弧度至+5弧度之间的值。

6.按照权利要求1至5之一所述的方法，其中，在时间上直接彼此相继的激光脉冲具有彼此不同的光谱相位的横向分布。

7.按照权利要求1至5之一所述的方法，其中，以具有多个彼此重叠的轨迹的多程法加工工件，以及在时间上彼此相继并彼此重叠的轨迹的激光脉冲具有彼此不同的光谱相位的横向分布。

8.按照权利要求1至5之一所述的方法，其中，改变激光脉冲的重叠。

9.按照权利要求1至5之一所述的方法，其中，通过在至少一个设置在光程中的、与激光脉冲非线性交互作用的光学介质之前加宽或缩窄激光束，改变光谱相位的分布。

10.激光装置，其用于执行按照权利要求1至9之一所述的方法，该激光装置具有用于产生以激光脉冲形式的激光束(L)的激光束源(2)、至少一个设置在激光束的光程中并与激光脉冲非线性交互作用的光学介质(22、24)以及用于非线性地改变在激光脉冲的光束横截面上的光谱相位的横向分布的器件。

11.按照权利要求10所述的激光装置，其中，设有可控制的光束成形装置(30)，用以调整激光脉冲的光谱相位的横向分布。

12.按照权利要求10所述的激光装置，其中，在所述至少一个光学介质(22、24)的上游设置上游的延迟板(31)，用以改变激光脉冲的光谱相位的横向分布。

13.按照权利要求11所述的激光装置，其中，在所述至少一个光学介质(22、24)的上游设置上游的延迟板(31)，用以改变激光脉冲的光谱相位的横向分布。

14.按照权利要求10至13之一所述的激光装置，其中，所述至少一个光学介质(22、24)的非线性折射率横向于光轴改变。

15.按照权利要求10至13之一所述的激光装置，其中，所述至少一个光学介质(22、24)横向于或平行于激光束(L)的中心轴线可移动地设置。

16.按照权利要求14所述的激光装置，其中，所述至少一个光学介质(22、24)横向于或平行于激光束(L)的中心轴线可移动地设置。