[发明专利]光学特性测量装置及光学特性测量方法

权利要求书

1.一种光学特性测量装置，其具备对试料照射光的光照射单元及接收来自所述试料的光的受光单元，其中，

所述受光单元具有包含多个受光体的受光传感器及将来自所述试料的光引导至受光传感器的导光部，

所述导光部将来自所述试料的光根据该光在所述试料上的位置及行进方向引导至所述多个受光体中的不同的受光体，

所述导光部具有第1导光体及包含多个导光透镜的第2导光体，

所述第1导光体将来自所述试料的光根据该光在所述试料上的位置引导至所述多个导光透镜中的不同的导光透镜，

所述多个导光透镜分别将经由所述第1导光体引导的光根据该光在所述试料上的位置及行进方向引导至所述多个受光体中的不同的受光体。

2.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

来自所述试料的光包含来自所述试料的第1位置的光与来自所述试料的第2位置的光，

来自所述试料的第1位置的光包含向第1方向行进的光与向第2方向行进的光，

来自所述试料的第2位置的光包含向第3方向行进的光与向第4方向行进的光，

所述多个受光体包含第1受光体、第2受光体、第3受光体及第4受光体，

所述导光部，将来自所述试料的所述第1位置的光且向所述第1方向行进的光引导至所述第1受光体、将来自所述试料的所述第1位置的光且向所述第2方向行进的光引导至所述第2受光体、将来自所述试料的所述第2位置的光且向所述第3方向行进的光引导至所述第3受光体、将来自所述试料的所述第2位置的光且向所述第4方向行进的光引导至所述第4受光体。

3.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述光照射单元包含发光部，

所述发光部配置在所述试料与所述导光部之间。

4.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述光照射单元具有：

发光部；以及

光引导部，其配置在所述试料与所述导光部之间，且将来自所述发光部的光引导至所述试料并透射来自所述试料的光。

5.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述光照射单元对所述试料照射平行光。

6.根据权利要求5所述的光学特性测量装置，其中，

所述光照射单元具有：

发光部；

准直部，其将来自所述发光部的光变成平行光；以及

光引导部，其配置在所述试料与所述导光部之间，且将所述平行光引导至所述试料并透射来自所述试料的光。

7.根据权利要求3所述的光学特性测量装置，其中，

所述发光部包含多个光源。

8.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述受光单元接收由所述试料反射的光。

9.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述受光单元接收透射所述试料的光。

10.根据权利要求1所述的光学特性测量装置，其中，

所述受光单元包含反射光用受光单元及透射光用受光单元，

所述反射光用受光单元具有包含多个反射光用受光体的反射光用受光传感器及将由所述试料反射的光引导至所述反射光用受光传感器的反射光用导光部，

所述透射光用受光单元具有包含多个透射光用受光体的透射光用受光传感器及将透射所述试料的光引导至所述透射光用受光传感器的透射光用导光部，

所述反射光用导光部将从所述试料反射的光根据该光在所述试料上的位置及行进方向引导至所述多个反射光用受光体中的不同的反射光用受光体，

所述透射光用导光部将透射所述试料的光根据该光在所述试料上的位置及行进方向引导至所述多个透射光用受光体中的不同的透射光用受光体。

11.根据权利要求10所述的光学特性测量装置，其中，

所述反射光用受光单元与所述透射光用受光单元配置在夹入所述试料的位置。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光学特性测量装置，其中，

所述光学特性测量装置还具备对所述多个受光体各自输出的受光信号进行信号处理的图像处理部。