[发明专利]晶棒的切断方法及线锯

说明书

技术领域

本发明涉及一种切断方法及线锯，该切断方法利用线锯来将晶棒切断成晶圆状。

背景技术

近年，晶圆有大型化的趋势，随着此大型化而使用专门用于切断晶棒的线锯。

线锯是如下所述的一种装置，其使钢线(高张力钢线)高速行进，在此处一边浇上浆液，一边压接工件(例如可列举硅晶棒。以下，也会简称为晶棒)而切断，以同时切出多片晶圆(参照专利文献1)。

此处，图4示出以往通常的线锯的一例的概要。

如图4所示，线锯101主要由下述构件等构成：钢线102，其用于切断晶棒；钢线导件(wire guide)103，其卷绕有钢线102；张力赋予机构104，其用于向钢线102赋予张力；晶棒进给装置105，其送出(进给)要被切断的晶棒；喷嘴106，其在切断时用以供给浆液，该浆液是在冷却剂中分散地混合有SiC微粉等磨粒而成。

钢线102从一侧的绕线盘(wire reel)107送出，经由导线台108，再经过由磁粉离合器(恒转矩马达109)或浮辊(静负载)(未图示)等构成的张力赋予机构104，进入钢线导件103。钢线102卷绕在该钢线导件103约300～400次左右之后，经过另一侧的张力赋予机构104’而被卷绕在绕线盘107’上。

此外，钢线导件103，是在钢或铁制圆筒的周边压入聚氨酯树脂并在其表面以一定的间距切出沟槽而成的辊，卷绕的钢线102可利用驱动用马达110以预定的周期在往复方向被驱动。

而且，在钢线导件103与卷绕的钢线102的附近设有喷嘴106，在切断时，可从该喷嘴106供给浆液至钢线导件103、钢线102上。而且，在切断后，作为废浆液而被排出。

使用这种线锯101，且使用张力赋予机构104将张力适当地施加至钢线102上，并通过驱动用马达110来使钢线102在往复方向上行进，且一边供给浆液一边将晶棒切片，从而得到想要的切片晶圆。

在使用上述线锯反复地切断多根晶棒时，在通常的晶棒的切断方法中，在全部的晶棒的切断中，钢线新线供给量都是以同样的条件来进行切断。

一般来说，在晶棒的切断开始部分的钢线新线供给量与切断结束部分的钢线新线供给量，是设成比在中央部分切断时的钢线新线供给量更小的值。另外，例如在直径为300mm的晶棒的情况下，所谓晶棒的切断开始部分，是设为从钢线最初接触到晶棒的外周端的部分算起15mm的部分；此外，所谓晶棒中央部分，是相当于从外周端算起150mm的部分。

此外，若确认从晶棒切出的晶圆的厚度的分布，则在晶棒的切断开始部分中的晶圆厚度相对于中央部分会变薄。这样，在利用线锯所进行的晶棒切断中，切断开始部分会变成最薄。以下，将晶圆面内的切断开始部分的厚度与中央部分的厚度的差，称为厚度不均。

切断开始部分的厚度变薄的现象，是因为在切断开始部分所使用的钢线的线径较大。要使钢线的线径变小只要使钢线磨损即可。作为调节钢线的磨损量的方法，可列举改变钢线新线供给量的方法。如果使钢线新线供给量变大，则钢线的磨损变小；如果使钢线新线供给量变小，则钢线的磨损变大。

因此，作为解决切断开始部分的厚度变薄的问题的方法，有使在切断开始部分进行切断时的钢线新线供给量变小的方法，从而能够使厚度不均变小。此外在进行晶棒切断前将钢线卷回，使用已经被使用且被磨损的部分来进行切断，由此能够使厚度不均变小。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开平成10-86140号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

但是，即使晶圆面内的厚度不均变小，在从钢线更换后的第一根和第二根以后被切断的晶棒所切出的晶圆之间，厚度不均的尺寸(程度)会有2～3μm左右的差。在钢线更换后的第一根被切断的晶棒所切出的晶圆，尤其是在切断开始部分会变得更薄，而造成十分显著的厚度不均的差异。

该差异是因为在钢线更换后的第一根晶棒的切断中最初使用的部分的钢线线径，与在第二根晶棒以后的切断中最初使用的部分的钢线线径不同。

该结果是因为在第二根以后，要在切断开始前将钢线卷回，使得在晶棒的切断中已经被使用的部分的已磨损的钢线被用于切断开始位置上，相对于此，在钢线更换后的第一根晶棒的切断中，则是完全没有磨损的新品状态的钢线被用于切断开始位置上。另外，在第二根以后的晶棒的切断中，对切断开始部分进行切断时的钢线的线径基本上变为固定。