[发明专利]用于指纹感测装置的连接垫

权利要求书

1.一种指纹感测装置(102)，包括：

感测电路，所述感测电路包括多个感测元件(104)，每个感测元件包括被布置在感测平面中并面向所述指纹感测装置的表面的感测结构，所述感测元件中的每个感测元件被配置成提供指示所述感测结构与放置在所述指纹感测装置的表面上的手指之间的电磁耦合的信号；以及

多个连接垫(108)，所述多个连接垫(108)电连接至所述感测电路，以通过连接所述连接垫和读出电路的接合引线来实现所述感测电路与所述读出电路之间的电连接，

其中，所述多个连接垫中的每个连接垫被布置在所述指纹感测装置的边缘并且相对于所述感测平面单独地凹陷，以使得每个连接垫由具有延伸至所述指纹感测装置的所述边缘的底部(110)的凹部来限定，所述底部(110)在底部平面中，以及其中，每个连接垫通过所述指纹感测装置的相对于所述底部平面升高的部分与相邻的连接垫分隔开，

其中，所述凹部具有从所述底部(110)延伸至所述指纹感测装置的连接平面的至少一个侧壁，以及其中，导电层完全地覆盖所述底部和所述侧壁，以使得经由所述连接平面来形成所述底部与所述感测电路之间的电连接，

其中，所述导电层还被布置在基本上平的表面的、围绕所述连接垫中的每个连接垫的部分上。

2.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述连接平面被布置在所述指纹感测装置的最顶部金属层中。

3.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述连接平面被布置在所述感测平面中。

4.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述侧壁从所述底部到所述连接平面是倾斜的。

5.根据权利要求4所述的指纹感测装置，其中，所述倾斜的侧壁具有高于45°倾斜角。

6.根据权利要求4所述的指纹感测装置，其中，所述倾斜的侧壁具有高于80°的倾斜角。

7.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述凹部的深度大于20μm。

8.根据权利要求7所述的指纹感测装置，其中，所述凹部的深度大于50μm。

9.根据权利要求8所述的指纹感测装置，其中，所述凹部的深度大于100μm。

10.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述指纹感测装置被布置在包括读出电路的读出基板上，以及其中，所述多个连接垫中的至少一个连接垫被引线接合至所述读出电路。

11.根据权利要求1所述的指纹感测装置，其中，所述感测元件中的每个感测元件被配置成提供以下信号：所述信号指示所述感测结构与放置在所述指纹感测装置的所述表面上的手指之间的电容性耦合。

12.根据权利要求1所述的指纹感测装置，还包括：

多个电荷放大器，所述感测结构中的每个感测结构连接有一个所述电荷放大器，以提供指示由所述感测结构携带的电荷的变化的感测信号，所述电荷的变化是由所述手指与所述感测结构之间的电位差的变化引起的。

13.根据权利要求12所述的指纹感测装置，所述电荷放大器包括：

负输入端，所述负输入端连接至所述感测结构；

正输入端，所述正输入端连接至感测元件基准电位，所述感测元件基准电位相对于传感器接地电位基本恒定；

输出端，所述输出端提供所述感测信号；

反馈电容器，所述反馈电容器连接在所述负输入端与所述输出端之间；以及

所述正输入端和所述负输入端与所述输出端之间的至少一个放大器级，

其中，所述电荷放大器以所述负输入端处的电位基本上遵循所述正输入端处的电位的方式被配置。