[发明专利]圆柱状纳米压印用模具的制造方法，和纳米压印用再生模具的制造方法

权利要求书

1.一种圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其是在圆柱状的铝基材的外周面形成有具有多个细孔的氧化覆膜的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其具有：

工序(I)：一边使研磨体与绕中心轴旋转的所述铝基材相对地移动，一边用所述研磨体摩擦所述铝基材的外周面，对所述铝基材的外周面整体进行研磨，其中，所述研磨体的沿所述铝基材的轴向的长度小于所述铝基材的轴向的长度；和

工序(II)：在所述工序(I)之后，利用阳极氧化在所述铝基材的外周面形成所述氧化覆膜，

所述工序(I)中，在所述铝基材的中心轴向的两端部配置支撑构件，以所述研磨体的至少一部分超出所述铝基材的轴向的端部的方式，使所述研磨体相对于绕轴旋转的所述铝基材的外周面沿轴向相对地移动来进行研磨，

超出所述铝基材的所述研磨体的至少一部分配置于所述支撑构件上，

将所述支撑构件的要配置所述研磨体的部分的表面相对于所述铝基材的轴向沿垂直方向切断的形状为圆弧状，所述圆弧状构成直径为与所述铝基材的外径大致相同或其以下的圆周的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，所述支撑构件的要配置所述研磨体的部分的外形为如下形状：构成外径为所述铝基材的外径的0.97倍以上且1倍以下的圆柱状的至少一部分。

3.根据权利要求2所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，所述支撑构件的外形为圆柱状。

4.根据权利要求1所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，所述支撑构件的要配置所述研磨体的部分由与所述铝基材相同的材质形成。

5.根据权利要求1所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，在所述工序(I)和所述工序(II)之间，还具有以所述研磨体不超出所述铝基材的方式使所述研磨体沿轴向相对地移动来进行研磨的工序(I’)。

6.根据权利要求1所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，所述工序(I)中，一边向所述铝基材的外周面供给磨粒一边用所述研磨体进行研磨，并且去除残留在所述支撑构件的表面上的残留磨粒。

7.根据权利要求1所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，所述工序(I)中，向所述铝基材的外周面上的与所述研磨体接触的部分供给化学机械研磨用研磨液，并且在沿轴向移动的所述研磨体的后方清洗所述铝基材的外周面而去除所述研磨液。

8.根据权利要求7所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，使所述研磨体从所述铝基材的轴向的第一端部到第二端部单向地移动。

9.根据权利要求7所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，还进一步在沿轴向移动的所述研磨体的前方清洗所述铝基材的外周面而去除所述研磨液。

10.根据权利要求7所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，在所述研磨体的轴向的两侧向所述铝基材的外周面喷射气体。

11.一种圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其是在圆柱状的铝基材的外周面形成有具有多个细孔的氧化覆膜的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其具有：

工序(I)：一边使研磨体与绕轴旋转的所述铝基材相对地移动，一边用所述研磨体摩擦所述铝基材的外周面，对所述铝基材的外周面整体进行研磨，其中，所述研磨体的沿所述铝基材的轴向的长度小于所述铝基材的轴向的长度；和

工序(II)：在所述工序(I)之后，利用阳极氧化在所述铝基材的外周面形成所述氧化覆膜，

所述工序(I)中，向所述铝基材的外周面上的与所述研磨体接触的部分供给化学机械研磨用研磨液，并且在沿轴向移动的所述研磨体的后方清洗所述铝基材的外周面而去除所述研磨液。

12.根据权利要求11所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，使所述研磨体从所述铝基材的轴向的第一端部到第二端部单向地移动。

13.根据权利要求11所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，还进一步在沿轴向移动的所述研磨体的前方清洗所述铝基材的外周面而去除所述研磨液。

14.根据权利要求11所述的圆柱状纳米压印用模具的制造方法，其中，在所述研磨体的轴向的两侧向所述铝基材的外周面喷射气体。