[发明专利]辐射加热器布置有效

专利信息
申请号: 201480043347.2 申请日: 2014-07-29
公开(公告)号: CN105706225B 公开(公告)日: 2019-08-13
发明(设计)人: J·维查特;R·巴兹伦 申请(专利权)人: 瑞士艾发科技
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 申屠伟进;王传道
地址: 瑞士特*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要:
搜索关键词: 辐射 加热器 布置
【权利要求书】:

1.一种在真空外壳中的电气辐射加热器,包括:

至少两组线性加热源,布置在对应数目的同心加热区域中,

所述加热源直接布置在真空外壳的真空侧上,并且直接电气连接到布置在真空侧上的电流轨,

其中电流轨中的每个被连接到从真空到环境的一个电气引线。

2.根据权利要求1所述的电气辐射加热器,其中在同心加热区域的至少一个中,加热源以接近圆形的多边形来布置。

3.根据权利要求1所述的电气辐射加热器,其中在同心加热区域中的至少一个中,加热源放射状地布置。

4.根据权利要求1所述的电气辐射加热器,其中在加热区域的一个中,加热源以接近圆形的多边形来布置,并且在加热区域的进一步的一个中,加热源放射状地布置。

5.根据权利要求1至4之一所述的电气辐射加热器,其中线性加热源是灯。

6.根据权利要求5所述的电气辐射加热器,其中所述灯是卤素灯。

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