[发明专利]低密度抛光垫有效
| 申请号: | 201480042621.4 | 申请日: | 2014-07-17 |
| 公开(公告)号: | CN105408063B | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
| 发明(设计)人: | P·黄;W·C·阿里森;R·弗伦泽尔;P·A·勒菲弗;R·科普里希;D·斯科特 | 申请(专利权)人: | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号: | B24B37/24 | 分类号: | B24B37/24 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人: | 徐国栋,林柏楠 |
| 地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 密度 抛光 | ||
1.制造抛光垫的方法,所述方法包括:
将预聚物和增链剂或交联剂与多个未膨胀微型元件和多个预膨胀微型元件混合以形成混合物,所述多个未膨胀微型元件各自具有初始尺寸;和
在成型模具中将混合物加热以提供包含热固性聚氨酯材料和分散于热固性聚氨酯材料中的第一多个闭孔和第二多个闭孔的模制抛光体,所述第一多个闭孔通过在加热期间使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终较大尺寸而形成,其中加热在多个未膨胀微型元件的膨胀阈值以上但在多个预膨胀微型元件的进一步膨胀阈值以下的温度下进行,使得多个预膨胀微型元件各自的尺寸在加热以前和以后是基本相同的,以提供在模制抛光体中的第二多个闭孔。
2.根据权利要求1的方法,其中使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终尺寸包括使多个微型元件各自的体积提高3-1000个因子。
3.根据权利要求1的方法,其中使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终尺寸包括提供多个未膨胀微型元件各自为10-200μm的最终直径。
4.根据权利要求1的方法,其中使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终尺寸包括使多个未膨胀微型元件各自的密度降低3-1000个因子。
5.根据权利要求1的方法,其中使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终尺寸包括形成具有最终尺寸的各多个未膨胀微型元件的基本球形形状。
6.根据权利要求1的方法,其中加热在100℃或更小的温度下进行,且其中多个预膨胀微型元件具有大于130℃的膨胀阈值。
7.根据权利要求1的方法,其中多个预膨胀微型元件具有比多个未膨胀微型元件的膨胀阈值更大的膨胀阈值。
8.根据权利要求1的方法,其中多个预膨胀微型元件的膨胀阈值大于120℃,且多个未膨胀微型元件的膨胀阈值小于110℃。
9.根据权利要求1的方法,其中预聚物、增链剂或交联剂和多个预膨胀微型元件的混合物具有粘度,且预聚物、增链剂或交联剂、具有初始尺寸的多个未膨胀微型元件和多个预膨胀微型元件的混合物基本具有该粘度。
10.根据权利要求9的方法,其中粘度为预定粘度,且混合物中多个预膨胀微型元件的相对量基于预定粘度选择。
11.根据权利要求9的方法,其中多个未膨胀微型元件对混合物的粘度具有很少或不具有影响。
12.根据权利要求1的方法,其中加热提供模制抛光体,所述模制抛光体包含热固性聚氨酯材料、分散于热固性聚氨酯材料中且通过使多个未膨胀微型元件各自膨胀至最终尺寸而形成且具有拥有第一粒度分布峰的第一直径模式的第一多个闭孔,和分散于热固性聚氨酯材料中且由多个预膨胀微型元件形成且具有拥有第二不同粒度分布峰的第二直径模式的第二多个闭孔。
13.根据权利要求12的方法,其中第一多个闭孔和第二多个闭孔在热固性聚氨酯材料中提供为热固性聚氨酯材料总体积的55-80%的总孔体积。
14.根据权利要求1的方法,其中将混合物加热以提供模制抛光体包括形成具有小于0.5g/cc的密度的抛光体。
15.根据权利要求14的方法,其中混合物在加热以前具有大于0.5g/cc的密度。
16.根据权利要求1的方法,其中混合进一步包括将气体注入预聚物和增链剂或交联剂中,或者注入由其形成的产物中。
17.根据权利要求1的方法,其中预聚物为异氰酸酯,且混合进一步包括将水加入预聚物中。
18.根据权利要求1的方法,其中将预聚物和增链剂或交联剂混合包括分别将异氰酸酯和芳族二胺化合物混合。
19.根据权利要求1的方法,其中混合进一步包括将不透明填料加入预聚物和增链剂或交联剂中以提供不透明模塑抛光体。
20.根据权利要求1的方法,其中将混合物加热包括首先在成型模具中部分地固化,然后在炉中进一步固化。
21.根据权利要求1的方法,其中在成型模具中加热包括在模制抛光体的抛光表面中形成槽图案。
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